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spice检查表cmpsti工艺线间电容模型程序40nm 1p10m cln40lp 7x2z alrdl v2d0 checkform damage.pdf

spice检查表cmpsti工艺线间电容模型程序40nm 1p10m cln40lp 7x2z alrdl v2d0 checkform damage.pdf

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    SPICECheckForm:Line-to-LineCapacitanceModelforCMPSTIProcess

    Program:40nmLP1P10M_7X2Z+ALRDLinterconnectmodel,V2.0

    Date:2013/08/07Signature:__________CHLu_____________SerenaHao

    Conductorlayers:

    ConductoThickne

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