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近场扫描光学显微术

由于衍射极限，光学显微术的根本原理使得其成像的空间分辨率为所使用光的波长及所使用光学系统的物镜和聚光镜的数值孔径所限制。近场扫描光学显微术〔NSOM〕——也经常称之为扫描近场显微术〔SNOM〕是基于这样一种需求而开发的。其成像具有由光学显微术成像中的各种衬度结构，而空间分辨率高于典型的光学衍射极限。

近场扫描光学显微术被归类一个大类的仪器中，这类仪器被称之为扫描探针显微镜〔SPMs〕。所有的SPMs实质上均根据IBM的研究人员GerdBinning和HeirichRohrer于1980年前所创造的扫描遂道显微镜〔STM〕开展起来的。普通光学成像方法的理论极限〔对可见光为200-300纳米〕是刺激现代高分辨率扫描探针显微术开展的主要因素，例如STM和原子力显微术〔AFM〕，较早期的透射式电子显微镜〔TEM〕和扫描电子显微镜〔SEM〕。这类技术和其后开发的技术使分辨率得以很大的提高，甚至可分辨单个原子。虽然，在近场扫描光学方法创造之前，超高的分辨能力可利用光学显微术中的各种各样的衬度放大装置来实施。对大多数高分辨技术来说，标本的制备方式限制了它在很多场合下的应用，特别是生物学研究中的动态检测及器皿中试样的检测。近场扫描光学显微术综合了AFM技术中极高的地形地貌状分辨率特性，很多类型光学显微术中有效的现行分辨率、偏光特性，光谱特性，灵敏度及灵活性等。

物体与光的作用，例如显微标本，其结果会产生近场和远场两种方式。远场光是透过一个非限制方式的空间进行传播的，作为一种“普通”光在一般的显微术中应用。而近场〔趋于零〕光那么是由一个非传播场构成。这个非传播场存在于标本的外表附近，其距离小于光波的波长。在近场内的光在标本外表几十纳米的范围内携带了更高频率的信息并具有最大的幅度。因为近场光在一个光波长的距离内是安指数衰减的，通常是趋于不易探测。事实上，当光由标本外表传播致到远场区间，高频率空间信息已被过滤掉了，在这种情况下即“衍射光的阿贝极限”产生作用了。在产生衍射前探测利用近场光，NSOM全部利用了远场光学中使用较高空间分辨率中应用到的衬度放大机理。除了无衍射极限、高分辨率的光学成像之外，通过小于100纳米的分辨率光谱仪分析，近场光学技术可应用于化学和结构的分析。

大多数现代商品化的NSOM仪器，具备普通光学显微术的光探测能力并结合了AFM的扫描力技术。根据特殊研究场合的需要，所有的NSOM设计得十分有效。最为常见的结构是将NSOM附加在倒置式荧光显微镜上。在普通显微镜上借助NSOM，许多显微镜使用者所熟悉的显微成像的类型，均可在近场显微镜的高分辨能力下呈现出来。除了光学信息之外，NSOM可建立类似原子力显微术中标本的地形地貌状图形或力的数据。两个独立的数据系〔光学的和地形地貌的〕可相互的比拟，进行物理和光学衬度之间的校正。NSOM技术最实在的能力在于，它的地形地貌状数据系与之相应的光学数据系在分辨率上远远高于对光调焦的衍射极限。

Figure1所示的为一台现代的倒置式光学显微镜上加装的NSOM系统。这样的配置使NSOM头，包括探针及探针的定位机构方便地安装在标本载物台的上方，而物镜安装于载物台的下方。图中的配置包括一个提供照明的外置激光器，一个收集光信号的光电倍增管及相应的用来管理标本、探针定位、图像采集的计算机和电子控制装置。

虽然扫描探针显微镜家族的专业化极强，其结构上的变化也很大，但共同的操作特点为都要使用一个与标本之间的间隙非常小的探针。典型SPM的探针尺寸为纳米级，探针与标本之间的间隙可由各种机构控制和和记录。不同型号的SPM由探针的特殊性质及它与标本外表之间隙的性质来表征。

典型的NSOM成像原理参见Figure2。图中开孔直径小于一个光波长的照明探针置于标本外表的近场范围内。为了实施无衍射极限，标本与探针之间的间隔需小于一个光的波长，所有的SPMs需要一个反应伺服系统精确地控制标本与探针之间的物理间隔。此外，需要借助一个X-Y-Z方向的扫描器〔一般为压电式〕来控制探针在标本外表上的移动。在Figure2NSOM的示图中，物镜置于远场状态，即常规状态，用来采集图像形成的光学信号。

借助于特殊仪器的设计，X-Y-Z方向的扫描可加载到探针或标本上。如果扫描器加载在标本上，那么标本可在固定探针尖端的下方按栅状路径扫描，这样便可生成由标本相关点产生的信号组成的图像。成像面的尺寸仅由扫描器的最大位移量来决定。计算机同时判断出探针的位置、以及从反应伺服机构获取的数椐，控制探针尖〔或标本〕的扫描动用及探针与标本外表之间的间隔。在作栅状路径的扫描过程中，计算机对标本与探针之间的相关信息逐点采集、记录，生成两维的数据系〔线性的〕。

由NSOM收集到的二维数据系随后被编码，在计算机的监视器上重现三维图像。典型的由扫描