电子束蒸发制备的TiO2_纳米柱的乙醇气敏性能研究 .pdfVIP

科技与创新｜ScienceandTechnologyInnovation2024年第06期

DOI：10.15913/ki.kjycx.2024.06.005

电子束蒸发制备的TiO纳米柱的乙醇气敏性能研究

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王强，杜宗泽，虞建辉，郭凌，陈龙泉

（电子科技大学物理学院界面物理实验室，四川成都611731）

摘要：通过电子束蒸发制备了二氧化钛纳米薄膜和纳米柱材料，经过退火处理后，对2种结构的材料进行了针对乙醇的气

敏测试。通过X-射线衍射仪（X-RayDiffraction，XRD）及扫描电子显微镜（ScanningElectronMicroscope，SEM）对材料进行

表征。SEM结果显示，二氧化钛纳米薄膜表面呈现出平整致密的结构，而纳米柱材料表面呈现出疏松多孔的结构。XRD

结果表明，经退火处理后2种材料均为单晶结构，呈现为锐钛矿相。二氧化钛纳米薄膜工作温度在200℃以上时效果较好，

纳米柱材料需要在300℃左右才能具有最佳响应。纳米柱在最佳工作温度下对于体积分数为0.03%的乙醇气体响应度高

达36.1，相比于纳米薄膜材料性能提升约200%。

关键词：TiO纳米柱材料；乙醇传感器；电子束蒸发；掠射角沉积

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中图分类号：TP212.9文献标志码：A文章编号：2095-6835（2024）06-0020-04

TiO[11]

作为一种N型宽禁带半导体材料，带隙宽度究不足。在纳米材料制备方面，大部分研究都采用

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为3.7eV。二氧化钛具有4种晶向，分别为锐钛矿相、化学合成的方式，这种方式虽然成本较低，但是步骤繁

金红石相、斜方晶相和单斜晶相，在一定压力和温度下多且在制备时容易引入杂质。物理沉积方式（热蒸发

材料晶相会发生转变。由于斜方晶相和单斜晶相为亚沉积、电子束沉积、磁控溅射等）具有一步成型的优点，

稳态相，不容易合成，因此实际应用材料中常见的是锐通常用于平面薄膜制备，难以制造出复杂、高比表面积的

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钛矿相和金红石相，均为四方晶相。TiO具有高光敏形貌。然而，PYUN等（2010）提出利用掠射角沉积技

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性、大带隙、小晶粒尺寸及稳定性的特点，被广泛应用术可以制备具有不同微观形貌的薄膜，形貌受沉积倾角

[2-5]

于太阳能电池、光催化、自清洁及气体传感器领域。影响，是一种可以快速便捷制备纳米材料的技术。因此，

TiO是N型半导体，多电子，极易吸附空气中的氧本文通过电子束蒸发沉积制备二氧化钛纳米薄膜，利用

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分子。当遇到还原性气体时，氧离子与其发生氧化