氧化锌透明导电薄膜的制备与性能研究 .pdfVIP

氧化锌透明导电薄膜的制备与性能研究

在现代电子技术和光电领域中，透明导电薄膜的应用越来越广泛，其中最具代

表性的是氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。然而，ITO薄膜具有价格昂贵、易碎、耐

蚀性差等问题，因此开发一种性能更好、成本更低的透明导电薄膜显得尤为重要。

在这种情况下，氧化锌透明导电薄膜作为最有潜力的替代材料之一，备受关注。

一、氧化锌透明导电薄膜的制备方法

氧化锌透明导电薄膜通常采用物理蒸发和溅射法两种方法进行制备。其中，物

理蒸发法是一种产生气态金属物质，以在样品表面沉积导电薄膜的方法，相对来说

比较简单快捷。而利用直流磁控溅射技术制备氧化锌薄膜更常用，其优点是可以通

过改变设备参数、材料的化学组成以及加热条件来控制薄膜的性质和厚度等参数。

二、氧化锌透明导电薄膜的性能研究

表面等离子体共振(SPR)技术用于测试氧化锌透明导电薄膜的光学性质，结果

表明其具有较高的透明度和导电性能。X光光电子能谱(XPS)和拉曼光谱测试结果

表明，氧化锌薄膜具有良好的化学稳定性和结晶性。在现代显示技术中，氧化锌透

明导电薄膜可以用作平板显示器、液晶显示器等方面。同时在光电转换领域，氧化

锌透明导电薄膜的优异的光认知性质使得其成为太阳能电池的理想候选材料。

三、氧化锌透明导电薄膜的应用前景

从氧化锌透明导电薄膜的制备和性能来看，综合分析发现它可以与其他透明导

电材料相比，具有光学透明性较好、抗腐蚀性能、稳定性以及成本低廉等优点。预

计未来将在智能电子、光电显示器、薄膜太阳能电池等领域得到广泛应用。同时，

其制备过程还可以与其他材料进行复合、掺杂等处理，以提高电池效率或者实现其

在传感器等领域的应用等。因此，氧化锌透明导电薄膜是一个非常值得深入研究和

发展的材料。