硅与相变材料混合集成光开关的研究.pdf

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摘要

近年来,由于网络通信流量传输效率的飞速增长,基于传统光-电-光转换模式

的光通信系统,随着出现功耗高、体积大等问题,已经很难满足当代信息化网络带

宽、业务效率等方面的需求。全光交换的出现,能够直接完成光信号之间的信息转

换,并具有低功耗、传输带宽大、高速、互联密度高等优点。光开关作为光通信系

统中的基本核心部分,低损耗、切换快的光开关芯片在未来发展道路中是必不可少

的。

本文首先研究了相变材料VO2与硫系化合物GST合金的特性与相变原理,并选

择了具有非易失性的硫系化合

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