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柔性透明导电薄膜及其制备技术／张凤等・１１９・
柔性透明导电薄膜及其制备技术
张凤，陶杰，董祥
南京航空航天大学材料科学与技术学院，（南京２１００１６）
摘要在柔性衬底上制作的器件具有重量轻、柔软等优点，所以柔性透明导电薄膜成为当前的研究热点。柔性
衬底存在不耐高温的缺点，从而限制了柔性透明导电薄膜的性能。总结了近年来对柔性衬底材料处理的方法，并介绍
了柔性透明导电ＩＴＯ薄膜和ＺＡＯ薄膜，分析了它们的研究现状，同时讨论了柔性薄膜的制备方法，最后对柔性透明
ＴＣＯ领域未来的研究和应用工作进行了展望。
关键词柔性透明导电薄膜柔性衬底制备方法ＩＴＯＺＡＯ
ＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔａｎｄＰｒｅｐａｒａｔｉｏｎｏｆＦｌｅｘｉｂｌｅＴｒａｎｓｐａｒｅｎｔＣｏｎｄｕｃｔｉｖｅＦｉｌｍ
ＺＨＡＮＧＦｅｎｇ，ＴＡＯＪｉｅ，ＤＯＮＧＸｉａｎｇ
（ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭａｔｅｒｉａｌＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＡｅｒｏｎａｕｔｉｃｓａｎｄＡｓｔｒｏｎａｕｔｉｃｓ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００１６）
ＡｂｓｔｒａｃｔＤｅｖｉｃｅｓｄｅｐｏｓｉｔｅｄｏｎｆｌｅｘｉｂｌｅｓｕｂｓｔｒａｔｅｓｈａｖｅｓｏｍｅａｄｖａｎｔａｇｅｓｓｕｃｈａｓｗｅｉｇｈｔｌｉｇｈｔ，ｆｌｅｘｉｂｉｌｉｔｙ，ｅｔｃ．
Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ，ｆｌｅｘｉｂｌｅｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｆｉｌｍｈａｓｂｅｃｏｍｅａｆｏＣＵＳｏｆｒｅｓｅａｒｃｈ．Ｂｅｃａｕｓｅｆｌｅｘｉｂｌｅｓｕｂｓｔｒａｔｅｓｃａｎｎｏｔｅｎ—
ｄｕｒｅｈｉｇｈｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ，ｔｈｅｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆｆｌｅｘｉｂｌｅｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｆｉｌｍａｒｅｌｉｍｉｔｅｄ．Ｔｈｅｔｒｅａｔｍｅｎｔｓｏｆｆｌｅｘｉｂｌｅ
ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓａｒｅｒｅｖｉｅｗｅｄｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ．ＦｌｅｘｉｂｌｅｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅＩＴＯｆｉｌｍ，ＺＡ０ｆｉｌｍａｎｄｔｈｅｉｒｒｅｓｅａｒｃｈａｄｖａｎｃｅｓ
ａｒｅｄｅｓｃｒｉｂｅｄ．Ｍｏｒｅｏｖｅｒ，ｔｈｅｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓａｒｅｄｉｓｃｕｓｓｅｄ．Ｆｉｎａｌｌｙ，ｔｈｅｆｕｔｕｒｅｗｏｒｋｔｏｂｅｄｏｎｅｉｎＴＣＯｒｅ—
ｓｅａｒｃｈａｎｄａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｆｉｅｌｄｓｉｓｓｕｇｇｅｓｔｅｄ．
Ｋｅｙｗｏｒｄｓｆｌｅｘｉｂｌｅｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｆｉｌｍ，ｆｌｅｘｉｂｌｅｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ，ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｓ，ＩＴＯ，ＺＡＯ
０前言底的致命缺点是不耐高温，不利于在柔性衬底上沉积具有优良
电学性能的透明导电薄膜，同时给薄膜的制备工艺增加了挑战
透明导电膜是指对可见光（一３８０￣７８０ｎｍ）的平均透过率性。因此对柔性衬底的表面处理和发展柔性透明导电薄膜的低
高（Ｔ＞８Ｏ）、低电阻率（ｐ＜ｌＯＱ・ｃｍ）的薄膜，其在电子学领温制备技术对提高薄膜的光学和电学性能具有重要意义。
域有着广泛的应用，
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