电子工业洁净厂房设计规范完整版2024.docx

电子工业洁净厂房设计规范[附条文说明]GB50472-2008

1??总????则

1.0.1??为在电子工业洁净厂房设计中，做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量，并符合劳动卫生和环境保护的要求，制定本规范。

1.0.2??本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房设计。

1.0.3??电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求，并应根据具体情况为今后产品生产发展或生产工艺改进的需要预留条件。

1.0.4??电子工业洁净厂房的设计应为施工安装、调试检测和安全运行、维护管理创造必要的条件。

1.0.5??电子工业洁净厂房设计除应执行本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。

2??术????语

2.0.1??洁净室??clean?room

空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

2.0.2??洁净区??clean?zone

空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。可以是开放式或封闭式。

2.0.3??人员净化用室??room?for?cleaning?human?body

人员在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。

2.0.4??物料净化用室??room?for?cleaning?material

物料在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。

2.0.5??粒径??partical?size

由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。

2.0.6??悬浮粒子??airborne?particles

用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1～5μm的固体和液体粒子。

2.0.7??含尘浓度??particle?concentration

单位体积空气中悬浮粒子的颗数。

2.0.8??洁净度??cleanliness

以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。

2.0.9??空态??as-built

设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。

2.0.10??静态??at-rest

设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。

2.0.11??动态??operational

设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。

2.0.12??气流流型??air?pattern

室内空气的流动形态和分布。

2.0.13??单向流??unidirectional?airflow

沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。包括垂直单向流和水平单向流。

2.0.14??非单向流??non-unidirectional?airflow

凡不符合单向流定义的气流。

2.0.15??混合流??mixed?airflow

单向流和非单向流组合的气流。

2.0.16??洁净工作区??clean?working?area

指洁净室内离地面高度0.8～1.?5m(除工艺特殊要求外)的区域。

2.0.17??空气吹淋室??airshower

利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员或物料表面附着粒子的小室。

2.0.18??气闸室??airlock

设置在洁净室出入口，阻隔室外或相邻房间的污染气流和压差控制而设置的缓冲间。

2.0.19??传递窗??passbox

在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧窗扇的开启应进行联锁控制。

2.0.20??洁净工作服??clean?working?garment

为把工作人员产生的粒子限制在最低程度所使用的发尘量少的洁净服装。

2.0.21??高效空气过滤器??(HEPA)high?efficiency?particulate?air?filter

在额定风量下，最易穿透粒径法的效率在99.95％以上及气流初阻力在220Pa以下的空气过滤器。

2.0.22??超高效空气过滤器??(ULPA)ultra?low?penetration?air?filter

在额定风量下，最易穿透粒径法的效率在99.9995％以上及气流初阻力在250Pa以下的空气过滤器。

2.0.23??微环境??minienvironment

将产品生产过程与操作人员、污染物进行严格分隔的隔离空间。

2.0.24??风机过滤器机组??fan?filter?unit(FFU)

由HEPA或ULPA与风机组合在一起，构成自身可提供动力的末端空气净化的装置。

2.0.25??自净时间??cleanliness?recovery?characterist