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2008年2009年
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8薄膜体声波谐振器28直流溅射
9自旋阀29晶粒尺寸
10耐蚀性210多层膜
11红外透过率211光电特性
12磁性212tio2薄膜
13热氧化213tin薄膜
14灵敏度214高次谐波
15滤波器215降解
16添加216银薄膜
17摩擦磨损217铝金属诱导晶化
18掺铝氧化锌薄膜218钇掺杂
19振荡器219褶皱
20响应时间220裂纹
21受主能级221衬底温度
22反应磁控溅射法222表面形貌
23反射率223薄膜电导率
24中频直流反应磁控溅射224薄膜厚度
25zno225薄膜光学
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27xps227网格
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