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MEMS陀螺仪研究综述

摘要：从MEMS陀螺仪的基本工作原理、发展历程和相关的技术介绍，回顾了MEMS微陀

螺仪的研究进展，并简单介绍了MEMS微陀螺仪的市场应用。

一、引言

MEMS是微电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystems）的英文缩写，MEMS技

术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上，对微米/纳米材料进行设计、加

工、制造、测量和控制的技术。它可以将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统整合为

一个整体单元，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、

通信和电源等于一体的微型器件或系统。如果采用与集成电路工艺类似的硅加工技术，便可

利用IC生产中的成熟技术、工艺，进行大批量、低成本生产，使性价比相对于传统的机械

制造技术大幅度提高，实现大规模集成产业化。

而其中，MEMS陀螺仪（gyroscope）又是MEMS的一个重要发展方向。随着MEMS

技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导

航、消费电子和移动应用等民用领域，航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上都拥

有着广阔的发展和市场前景。

二、基本工作原理

传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理，因此它主要是一个不停转动的物体，它的转

轴指向不随承载它的支架的旋转而变化。但是MEMS陀螺仪的工作原理不是这样的，因为

要用微机械技术在硅片衬底上加工出一个可转动的结构并不是一件容易的事。MEMS陀螺

仪利用了科里奥利力——旋转物体在径向运动时所受到的切向力。

在空间设立动态坐标系（图一）。可以计算得到三项加速度：径向加速度、科里奥利加

速度和向心加速度。

图一

如果物体在圆盘上没有径向运动，科里奥利力就不会产生。因此，在MEMS陀螺仪的

设计上，这个物体被驱动，不停地来回做径向运动或者

振动，与此对应的科里奥利力就是不停地在横向来回变

化，并有可能使物体在横向作微小振动，相位正好与驱

动力差90度（图二）。

MEMS陀螺仪通常有两个方向的可移动电容板。径

向的电容板加震荡电压迫使物体作径向运动，横向的电

容板测量由于横向科里奥利运动带来的电容变化。因为

科里奥利力正比于角速度，所以由电容的变化可以计算

出角速度。

这种利用

振动来诱导和图二

探测科里奥利力而设计的MEMS陀螺仪没有旋

转部件、不需要轴承，已被证明可以用微机械加工

技术大批量生产。绝大多数MEMS陀螺仪依赖于

由相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。

振动物体被弹性结构悬挂在基底之上。整体动力学

系统是二维弹性阻尼系统，在这个系统中振动和转

动诱导的科里奥利力把正比于角速度的能量转移

到传感模式（图三）。

通过改进设计和静电调试使得驱动和传感的

图三共振频率一致，以实现最大可能的能量转移，