- 1、本文档共4页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
孟军霞等:Al掺杂ZnO薄膜的微结构及光学特性研究1317
Al掺杂ZnO薄膜的微结构及光学特性研究*
孟军霞,马书懿,陈海霞,陶亚明,侯丽莉,贾迎飞,尚小荣
(西北师范大学物理与电子工程学院,甘肃兰州730070)
摘要:采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备晶性能发生了比较明显的变化。
出不同Al掺杂量的ZnO(AZO)薄膜。利用X射线衍
2实验
射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致荧光发光
(PL)等系统研究了不同Al掺杂量对ZnO薄膜的结晶AZO薄膜是在JGP560BIV型超真空磁控溅射设
性能、表面形貌和光学特性等的影响。结果显示,随着备上采用射频磁控溅射法,在7105型玻璃衬底上制备
Al掺杂量的增加,薄膜的(002)衍射峰先增强后减弱,的。实验所用靶材为纯度优于99.99%Zn靶(直径
同时出现了(100)、(101)和(110)衍射峰,表明我们制60mm,厚度4mm),样品a、b、c、d表示Al的掺杂面积
备的AZO薄膜为多晶纤锌矿结构,适量的Al掺杂可分别为0、2.5%、5.0%和10.0%(扇形Al片的面积与
提高ZnO薄膜的结晶质量,然而AZO薄膜的表面平溅射靶的面积比),所对应的Al的掺杂浓度分别为0、
整、晶粒致密均匀。薄膜在紫外可见光范围的透过率0.90%、1.66%和3.78%(原子分数),靶与衬底距离
超过90%,同时随着Al掺杂量的增加,薄膜的光学带为50mm。O和Ar分别作为反应沉积过程中的反应
2
隙值先增大,后减小。这与采用量子限域模型对薄膜气体和溅射气体。制备前用去离子水、丙酮和酒精依
的光学带隙作出相应的理论计算所得结果的变化趋势次对纯度优于99.96%的自制Al片和玻璃衬底进行
完全一致。超声清洗15min,交替清洗3次,清洗完毕后用干燥的
-4
关键词:磁控溅射法;AZO薄膜;结构特性;光学特氮气吹干后迅速放入真空室,背景真空为210Pa,
性;量子限域工作压强为2Pa,O2和Ar流量分别为8和10mL/
中图分类号:O484.4;O484.5文献标识码:Amin,溅射功率为100W,沉积时间1h,衬底温度
文章编号:10019731(2010)08131704200。并进行400真空退火1h。样品的结构特性
用英国Bede公司制造的BedeD1多功能X射线衍射
1引言
仪(XRD;CuK=0.154056nm)进行表征;样品的表面
近年来,人们开始对ZnO薄膜,特别是Al掺杂氧形貌采用扫描电子显微镜(SEM)进行观察;薄膜的可
化锌(AZO)薄膜研究有了浓厚的兴趣。大部分文献报见光透射和吸收谱用紫外分光光度计(UV22550;330
道,用溶胶凝胶和射频磁控溅射等方法[1,2]可制备~800nm)测量;薄膜光致荧光光谱采用美国Perkin
AZO薄膜,且射频溅射法制备AZO
您可能关注的文档
- ETFE绝缘电线电缆电子辐照交联技术研究开题报告 .pdf
- eps可行性研究报告 .pdf
- D打印技术在工业产品生命周期优化的应用考核试卷 .pdf
- DN2600碟阀液压系统设计 .pdf
- DDV阀介绍及其应用 .pdf
- CREO 开题报告 _原创精品文档.pdf
- CO2激光喉显微手术治疗早期喉癌的近期疗效及远期效果分析 .pdf
- CGP专家共识双心门诊建设规范中国专家共识2023 .pdf
- cad设计制图岗位职责 .pdf
- Bresle_盐分测试步骤 .pdf
- (4篇)XX区抓党建促基层治理培训心得体会汇编12.docx
- 汇编1154期-在培训班上的讲话汇编(3篇).doc
- 汇编1173期-专题党课讲稿汇编(3篇)112.doc
- 汇编1076期-主题党课讲稿汇编(3篇).doc
- 汇编1177期-学习心得体会汇编(3篇)112.doc
- (6篇)党和国家机构改革心得体会汇编.docx
- 汇编1166期-坚定理想信念、全面从严治党、担当作为专题党课讲稿汇编(3篇)112.doc
- 汇编1174期-专题党课讲稿汇编(3篇)112.doc
- 教育13期-主题教育学习心得体会、研讨发言材料参考汇编(3篇).doc
- 汇编1458期-心得体会研讨发言提纲参考汇编(3篇)123.doc
最近下载
- 露天非煤矿山施工方案.docx VIP
- 标准图集-13G322-1-钢筋混凝土过梁 - 烧结普通砖、蕉压灰砂翩。蒸压粉煤灰砖砌体.pdf
- 危大工程-模板工程及支撑体系-安全管理措施.doc VIP
- 高中历史选择性必修3《文化交流与传播》教学设计(修订版).doc
- 废水处理可行性研究报告.docx VIP
- 统编人教部编版小学语文四年级下册语文第二单元测试卷A(附答案).docx VIP
- GB-55015 空气源热泵技术解读-2024制冷展.pdf
- 2025年郑州旅游职业学院单招职业技能测试题库必考题.docx VIP
- 基于PLC的教室照明自控系统设计.doc
- GB50175-2014 露天煤矿工程质量验收规范.docx
文档评论(0)