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化学气相沉积设备项目评估报告
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化学气相沉积设备项目评估报告
目录
TOC\h\z15127概论 3
4454一、化学气相沉积设备项目建设背景 3
32439(一)、化学气相沉积设备项目提出背景 3
24759(二)、化学气相沉积设备项目建设的必要性 4
3277(三)、化学气相沉积设备项目建设的可行性 5
25208二、化学气相沉积设备项目建设内容 8
8992(一)、建筑工程 8
28127(二)、电气、自动控制系统 9
12910(三)、通用及专用设备选择 11
21897(四)、公共工程 13
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