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半导体制造环境控制系统（ECS）系列：洁净度控制系统_（14）.粒子检测与分析技术.docxVIP

半导体制造环境控制系统（ECS）系列：洁净度控制系统_（14）.粒子检测与分析技术.docx

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    粒子检测与分析技术

    在半导体制造过程中，洁净度控制是至关重要的。微小的粒子污染可以导致芯片性能的下降甚至完全失效。因此，粒子检测与分析技术成为半导体制造环境控制系统（ECS）中不可或缺的一部分。本节将详细介绍粒子检测与分析技术的原理和应用，包括常用的粒子检测方法、数据分析技术以及如何通过软件实现粒子检测与分析。

    常用的粒子检测方法

    1.空气粒子计数器(AirParticleCounter,APC)

    空气粒子计数器是半导体制造环境中最常用的粒子检测设备之一。它通过激光散射原理来检测空气中粒子的数量和大小。当空气流经过检测器时，激光束会散射在粒子上

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