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化合物半导体的外延生长设备资金申请报告
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化合物半导体的外延生长设备资金申请报告
目录
TOC\h\z4299前言 3
18858一、项目概要 3
1996(一)、项目名称及建设性质 3
5586(二)、项目主办方 3
19049(三)、化合物半导体的外延生长设备项目定位及建设原因 4
10462(四)、化合物半导体的外延生长设备项目选址及背景 5
4169(五)、化合物半导体的外延生长设备项目生产规模概述 6
11094(六)、建筑规模与设计要点 6
6448(七)、环境影响考察 6
14803(八)、项目总投资与
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