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真空电弧法生产石英坩埚的技术和设备可行性报告

项目概况

项目建设地点内拟征土地100亩。

项目建设规模与目标

建设规模

该项目初步测算投资规模为总投资约2亿元.

预期目标

项目建设期1年，注册资金：1000万元人民币

、经营期限：2011年3月10日至2021年3月9日。

法定代表人：

一、前言

技术和经济的发展以及人口的增长，使得人类对能源的需求越来越

大。基于现在环境污染和常规能源短缺的双重危机，发展清洁的，可再

生的新能源的要求越来越迫切。太阳能具有丰富、清洁、可再生的优点，

受到了国际社会的广泛关注。太阳能发电原理就是利用半导体材料的光

电效应。太阳能发电不需要燃料、无污染、安全、无噪音、建设周期短、

资源相对广泛、寿命长，太阳能电池一般寿命25年，免维护，所以在

世界各国，先后发起了国家光伏发展计划和太阳能屋顶计划，光伏能源

被认为是21世纪最重要的能源，可再生的绿色能源。光伏产业是世界

上发展最快的产业，比IT业发展还要快，而且国际能源机构推算，今

后的五十年内，硅太阳能电池（光伏产业）的发展速度将保持在50%

以上的增长速度，是一个朝阳产业。利用太阳能，离不开单晶硅电池板，

从而离不开生产电池板的高品质的电弧石英坩埚。

真空电弧法生产石英坩埚（以下简称真空坩埚）是目前世界上生产

石英坩埚最先进的技术。它以电弧为热源，离心成型的工艺制造坩埚。

其特点是设备可操作性强，工艺成熟，产品利润空间大，市场前景广阔。

石英玻璃坩埚是单晶硅生产中的关键必需品，是半导体产业的龙头产

业。广泛应用于电子、化工等诸多行业。用电弧法制造的半导体半透明

石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材

料。

二、真空坩埚的生产工艺特点

本工艺是用电弧为热源，离心成型为基础，熔化预先成型过的高纯

石英粉料，通过抽真空制造高纯度内层透明，外层乳白的石英坩埚的装

置。主机包括：旋转成型机构、电极升降及开闭机构、遮热板升降机构、

电弧电源装置、液压传动系统、真空系统、电控操作台系统、防音及给

排风系统、吹扫清洗设备及坩埚取出工具等。

生产原理：将高纯石英粉装入可任意倾动角度的旋转成型模内，利

用离心力成型，将已成坩埚形的旋转着的装置移动至电极棒处，然后将

电极送电启弧，同时启动真空系统，使其快速熔化成坩埚形状的熔融石

英，经冷却后取出，即完成一个石英坩埚的生产。目前，在可生产6-14

英寸和14-22英寸真空坩埚的两种成套设备的基础上，又设计了24-28

英寸的真空坩埚制造设备。

真空石英坩埚制品特别适用拉单晶炉拉制低氧碳大直径硅单晶用。

它具有热稳定性好，能在高温下连续工作时间长，并且在使用过程中，

没有软化和塌边现象，无高温开裂鼓泡现象，与熔硅长时间接触融入量

小，降低了单晶中的氧含量，提高了单晶的质量，且高温下不形成方石

英颗粒，易于拉晶控制，性能稳定。该产品性能优越，具有纯度高、杂

质含量低、几何尺寸偏差小，无气泡，无析晶现象等优点，技术水平达

到国际先进水平，具有很高的推广价值。

该技术主要只利用高纯石英砂，在超净环境下真空烧制而成。具有

高纯度、耐高温等优良理化性能。该产品完全能满足美国GE、日本申

和以及国际通用标准DHS。

最近我们又开发了真空电弧涂层法生产石英玻璃坩埚这一具有高

技术含量的新工艺，制造的高纯度石英坩埚壁体分不透明和透明两层。

在坩埚内表面有一层，其典型的厚度为0.6mm~2.0mm.该透明层内

没有气泡，且透明层的制造原料纯度高，可以保证坩埚长时间使用不容

易析晶。另外，为了不使埚内极少量的金属原子游离，防止杂质离子扩

散引起沾污，我们开发了涂钡技术。以上新技术均为国际先进水平。与

普通石英玻璃坩埚相比，不仅具有更加优越的抗析晶能力和更好的热稳

定性，并可提高坩埚的利用率，降低