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半导体设备维护保养计划制定考核试卷
考生姓名：__________答题日期：__________得分：__________判卷人：__________
一、单项选择题（本题共20小题，每小题1分，共20分，在每小题给出的四个选项中，只
有一项是符合题目要求的）
1.下列哪种设备不属于半导体设备？（）
A.光刻机
B.芯片测试机
C.离心机
D.扫描电子显微镜
2.在制定半导体设备维护保养计划时，应考虑以下哪一项？（）
A.设备使用年限
B.设备操作人员技术水平
C.设备生产效率
D.设备采购成本
3.下列哪种方法不适用于半导体设备的清洁保养？（）
A.干燥清洁
B.湿式清洁
C.磨砂清洁
D.静电清洁
4.以下哪个部件不是光刻机的核心部件？（）
A.光源
B.分辨率
C.曝光台
D.控制系统
5.在半导体设备维护保养中，哪种行为是不被允许的？（）
A.定期检查设备运行状态
B.按照操作规程进行维护保养
C.在设备运行中进行清洁保养
D.对设备进行定期润滑
6.以下哪个因素不会影响半导体设备的维护保养周期？（）
A.设备使用频率
B.设备运行环境
C.设备负载
D.设备颜色
7.下列哪种设备维护保养方法可以有效降低设备故障率？（）
A.定期更换零部件
B.加强设备操作人员培训
C.减少设备使用频率
D.提高设备采购质量
8.在制定半导体设备保养计划时，以下哪个环节是必不可少的？（）
A.设备清洁
B.零部件更换
C.设备调试
D.文件记录
9.下列哪种设备保养周期制定方法是不合理的？（）
A.根据设备使用年限制定
B.根据设备运行环境制定
C.根据设备故障率制定
D.根据设备采购成本制定
10.以下哪个部件不属于芯片测试机的核心部件？（）
A.探测器
B.测试程序
C.控制系统
D.显示器
11.在进行半导体设备维护保养时，以下哪个步骤应首先进行？（）
A.设备断电
B.设备调试
C.设备清洁
D.零部件更换
12.下列哪种情况下，应立即对半导体设备进行维护保养？（）
A.设备运行正常
B.设备出现故障
C.设备保养周期未到
D.设备停机时间过长
13.在半导体设备维护保养中，以下哪个措施可以有效提高设备稳定性？（）
A.提高设备使用频率
B.定期对设备进行调试
C.增加设备负载
D.降低设备运行环境要求
14.以下哪个因素会影响半导体设备保养成本？（）
A.设备使用年限
B.设备运行环境
C.设备操作人员技术水平
D.设备采购价格
15.下列哪种设备保养方法是针对设备外部的？（）
A.清洁保养
B.润滑保养
C.功能检测
D.零部件更换
16.在制定半导体设备保养计划时，以下哪个因素应优先考虑？（）
A.设备使用频率
B.设备运行环境
C.设备操作人员技术水平
D.设备故障率
17.下列哪种设备保养周期制定方法是最科学的？（）
A.根据设备使用年限制定
B.根据设备运行环境制定
C.根据设备故障率制定
D.综合考虑设备使用年限、运行环境、故障率等因素
18.以下哪个部件不属于扫描电子显微镜的核心部件？（）
A.电子枪
B.透镜系统
C.显示器
D.探测器
19.在半导体设备维护保养中，以下哪个环节是最关键的？（）
A.设备清洁
B.零部件更换
C.设备调试
D.文件记录
20.
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