JJF 2160-2024 激光共聚焦显微镜校准规范.docx

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF2160—2024

激光共聚焦显微镜校准规范

CalibrationSpecificationforLaserConfocalMicroscopes

2024-10-19发布2025-04-19实施

国家市场监督管理总局发布

JJF2160—2024

激光共聚焦显微镜校准规范CalibrationSpecificationfor

LaserConfocalMicroscopes

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归口单位:全国几何量长度计量技术委员会主要起草单位:中国计量科学研究院

哈尔滨工业大学

参加起草单位:南京市计量监督检测院

本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释

JJF2160—2024

本规范主要起草人:

施玉书(中国计量科学研究院)刘俭(哈尔滨工业大学)

张树(中国计量科学研究院)参加起草人:

王珉(南京市计量监督检测院)刘辰光(哈尔滨工业大学)

皮磊(中国计量科学研究院)

郭鑫(南京市计量监督检测院)

JJF2160—2024

Ⅰ

目录

引言 (Ⅱ)

1范围 (1)

2引用文件 (1)

3概述 (1)

4计量特性 (2)

4.1水平方向长度测量误差 (2)

4.2垂直方向长度测量误差 (2)

4.3水平方向长度测量重复性 (2)

4.4垂直方向长度测量重复性 (2)

4.5水平方向正交误差 (2)

4.6畸变 (2)

4.7最大可测倾角 (2)

4.8水平方向拼接误差 (2)

4.9垂直方向拼接误差 (2)

4.10载物台定位误差 (2)

5校准条件 (3)

5.1环境条件 (3)

5.2校准项目和校准用标准器 (3)

6校准项目和校准方法 (4)

6.1水平方向长度测量误差 (4)

6.2垂直方向长度测量误差 (6)

6.3水平方向长度测量重复性 (8)

6.4垂直方向长度测量重复性 (8)

6.5水平方向正交误差 (8)

6.6畸变 (9)

6.7最大可测倾角 (10)

6.8水平方向拼接误差 (11)

6.9垂直方向拼接误差 (11)

6.10载物台定位误差 (12)

7校准结果表达 (12)

8复校时间间隔 (12)

附录A激光共聚焦显微镜长度测量误差的不确定度评定 (13)

附录B激光共聚焦显微镜校准证书(内页)格式 (15)

JJF2160—2024

Ⅱ

引言

JJF1001—2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1—2012《测量不确定度评定与表示》、JJF1071—2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1094—2002《测量仪器特性评定》共同构成支撑本规范制定的基础性系列规范。

本规范为首次发布。

JJF2160—2024

1

激光共聚焦显微镜校准规范

1范围

本规范适用于激光共聚焦显微镜的校准,其他基于共聚焦原理的显微镜校准也可参照本规范。

2引用文件

本规范引用了下列文件:

GB/T19067.1—2003产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法测量标

准第1部分:实物测量标准

GB/T34879—2017产品几何技术规范(GPS)光学共焦显微镜计量特性及测

量不确定度评定导则

ISO25178-607:2019产品几何量技术规范(GPS)表面结构:区域法第607部分:非接触(共焦显微镜)仪器的标称特性[Geometricalproductspecifications(GPS)