全自动引线键合机键合头力补偿方法 .pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101393875A

(43)申请公布日2009.03.25

(21)申请号CN200810079541.2

(22)申请日2008.10.09

(71)申请人中国电子科技集团公司第四十五研究所

地址065201河北省三河市燕郊经济开发区海油大街20号

(72)发明人郑轩高军李吉郭强生

(74)专利代理机构石家庄新世纪专利商标事务所有限公司

代理人董金国

(51)Int.CI

H01L21/60

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

全自动引线键合机键合头力补偿方

法

(57)摘要

本发明涉及一种全自动引线键合机

键合头力补偿方法，本方法的具体步骤如

下：(1)所述运动控制系统的主机和运动控

制器在控制键合头电机匀速运动过程中对

所述控制输出值进行记录为离散数据组：

(2)在所述主机记录下上述大于50个的读数

值，在二维坐标平面上绘制出其DA/位置

散点图；基于最小二乘法，通过最小化误

差的平方和找到该DA/位置数据组的最佳

函数匹配；(3)对拟合后的函数进行离散

化，制成位置－力补偿表，所述运动控制

器以查表的方式对输出的力控制量即所述

控制输出值进行补偿：能够明显改善键合

头电机在焊线运动过程中的动态特性，可

以减小键合头的跟随误差与到位后的过

冲，明显提高了焊线的线弧一致性与焊接

质量。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1、全自动引线键合机键合头力补偿方法，本方法基于力/位混合运动控制算法，即

以光栅尺为反馈元件的位置闭环与压力传感器为反馈元件的力闭环的力/位混合运

动控制算法，全自动引线键合机的运动控制系统的运动控制器通过键合头电机的编

码器采集光栅尺的位置信息及压力传感器的力/加速度信息，并对其运算得到控制

输出值；其特征在于其方法步骤如下：

(1)所述运动控制系统的主机和运动控制器在控制键合头电机匀速运动过程中对所

述控制输出值进行记录为离散数据组：

键合头电机拖动键合头完成极限位置搜索动作，获得最大行程；

考虑到键合头电机上下运动过程中所受外力的非对称性，而键合头的搜索运动的探

高时进入匀速段的运动方向向下，因此所述运动控制器的控制卡驱动键合头电机以

一个较缓慢的恒定速度从上限位开始运动到下限位，在这一过程中，所述控制卡均

匀的记录下大于50个采样位置的压力传感器读数和该点的所述控制卡向键合头电

机驱动器输出的控制输出值即DA输出值，所述驱动器工作在力矩模式；

所述控制卡将记录的所述DA输出值与压力传感器读数一一对应的传回给所述主机；

(2)在所述主机记录下上述大于50个的读数值，在二维坐标平面上绘制出其DA/位

置散点图；基于最小二乘法，通过最小化误差的平方和找到该DA/位置数据组的最

佳函数匹配，即用一个六阶多项式对其进行拟合，反求出多项式各项系数，将该拟

合结果与上述DA/位置曲线反映在同一坐标系内；

(3)对拟合后的函数进行离散化，制成位置-力补偿表，所述运动控制器以查表的方

式对输出的力控制量即所述控制输出值进行补偿：

利用前述求得的多项式曲线，对原来大于50个点的均匀的DA—位置对应关系细

化到4K个点，并将其制成位置—力补偿表的形式下载到所述控制卡，由所述控制

卡在控制键合头电机运动过程中将这一偏置以补偿量的形式对其DA输出值进行修

正，从而改善键合头在焊线运动中的动态特性。

说明书

技术领域

本发明涉及一种全自动引线键合机键合头力补偿方法。

背景技术

在半导体器件的后封装领域，经过划片、减薄的半导体晶粒通过粘片(固晶)工艺被

固定在金属框架上后，需要将芯片上的电极与对应的框架引脚用导电材质相连接，

即键合工艺