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内部资料，严禁外传

JEM-2100培训资料

陕西师范大学化学化工学院

2013.04

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目录

第1章JEM-2100TEM简介 1

1.1镜筒 1

1.1.1聚光镜光阑、物镜光阑和选区光阑 1

1.1.2样品杆 1

1.1.2.1单倾台EM-21020 1

1.1.2.2双倾台EM-31630 1

1.1.3测角台 2

1.1.4ACD液氮罐 2

1.2控制面板 3

1.2.1控制面板L1 3

1.2.2控制面板R1 4

1.2.3控制面板L2 5

1.2.4控制面板SC 5

1.2.5离子溅射泵(SIP)电源控制箱 5

1.3电脑操作界面 6

1.3.1运行程序 6

1.3.2TEM控制窗口 6

1.3.2.1主窗口 6

1.3.2.1a左区 6

1.3.2.1b中区 7

1.3.2.1c右区 7

1.3.2.2菜单栏 7

1.3.2.2aDialogue 7

1.3.2.2bMonitor 9

1.3.2.2cMaintenance 9

第2章JEM-2100TEM基本操作 11

2.1开机和总关机(管理员操作) 11

2.1.1开机 11

2.1.2总关机 11

2.2检查仪器状态(管理员操作) 11

2.3升高压 11

2.4向冷阱中加液氮 12

2.5进样 13

2.6加灯丝电流(发射电子束) 13

2.7插入聚光镜光阑及其像散调节 14

2.81-5合轴 15

2.9TILT联动比调整 15

2.10插入物镜光阑及对中 16

2.11调整样品高度 16

2.12电压中心调整 16

2.13物镜消像散 16

2.13.1低倍下物镜消像散 16

Ⅱ

2.13.2高倍下物镜消像散 17

2.13.3在CCD下，利用FFT消像散 17

2.14中间镜消像散 17

2.15投影镜合轴 17

2.16观察样品 17

2.17取出样品杆 18

2.18关机 18

第3章补充说明 20

1

第1章JEM-2100TEM常用部件简介

1.1镜筒

1.1.1聚光镜光阑、物镜光阑和选区光阑

外圈旋钮①用于选择光阑；通过调节旋钮②/③可沿x/y方向调节光阑至中心。

1.1.2样品杆

1.1.2.1单倾台EM-21020

1.1.2.2双倾台EM-31630

备注：我们常用的单倾台

2

1.1.3测角台

①黄灯亮表示正在抽测角台内真空；

②绿灯亮表示可以插入样品杆；

③pump/air开关：指向pump档时，抽测角台内真空(黄灯亮);指向air档时，向测角台内通N?

1.1.4ACD液氮罐

插入冷阱加热棒前(左)后(右)的图片

3

1.2控制面板

1.2.1控制面板L1

①

oLSA

oLSA

5

③

8

ogrino

①Beam开关：灯丝电流开关(和HighVoltageControl中Filament开关功能相同；)②电动光阑控制：(JEM-2100上无此功能);

③模式选择(ProbeControl)

●照明模式选择按钮(Illuminationmodeselectorswitches)(TEM、EDS、NBD、CBD);●a角选择按钮

●SpotSize选择按钮

④RoomLamp开关(未启用)

⑤DEF/STIG开关

●CONDSTIG(聚光镜像散)

●OBJSTIG(物镜像散)

●DARKTILT(暗场倾斜)

●BRIGHTTILT(明场倾斜)

●NTRL(归零按钮)

⑥Brightness亮度调节按钮

⑦亮度粗调(CRS)开关

⑧x方向平移按钮(默认电子束平移，按下右面板F4键后为电子枪平移)

⑩DEF/STIG,x方向按钮

4

1.2.2控制面板R1

●IMAGEWOBBX(图像抖动-X方向)

●IMAGEWOBBY(图像抖动-Y方向)

●HTWO