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摘要
近年来，太阳电池因其清洁、可再生的特性而受到广泛关注。在太阳电池的应用与
发展中，各类功能薄膜是至关重要的材料之一，它们对于提高太阳电池的光电转换效率、
稳定性和寿命等具有着重要的影响。氧化锌（ZnO）系透明导电薄膜因其宽带隙、高透
光性、低电阻率和良好的稳定性等特点，是目前太阳电池中比较常用的窗口层和缓冲层
材料之一，但是其导电性仍有较大的提升空间。铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜具有高导电
率、良好的透光率和优异的稳定性，是太阳电池透明导电层的重要材料之一。高转换效
率的太阳电池需要选择具
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