测温装置及扩散炉.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN102560681A

(43)申请公布日2012.07.11

(21)申请号CN201010592886.5

(22)申请日2010.12.16

(71)申请人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

地址100176北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号

(72)发明人余茂贤

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司

代理人骆苏华

(51)Int.CI

C30B31/18

G01K7/04

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

测温装置及扩散炉

(57)摘要

一种测温装置，用于扩散炉中，所述扩散炉包括：温度控制器、腔室及设置于其中用于放置晶圆的晶舟；所述测温装置包括：温度测量模块、温度传送模块和温度处理模块，温度测量模块，设置于所述晶舟内，包括至少两个温度传感器，用于测量所述晶圆的温度并发送至所述温度传送模块；温度传送模块，设置于所述腔室内，用于将所述温度测量模块测得的温度传送至所述温度处理模块，所述温度传送模块包裹有热绝缘套；温度处理模块，用于对接收到的所述温度传感器测得