高精度电容式纳牛级微型力传感器研究.doc

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系（所）精密所

论文题目：高精度电容式纳牛级微型力传感器研究

摘要

电容式传感器利用平行电极板原理，将被测外界物理量的改变转换为电容量的变化，进而转换为电压、电流或频率等易测信号的器件。利用这一原理可制成加速度传感器、湿度传感器、压力传感器、气体传感器、生物传感器、化学传感器等各种传感器，其应用范围相当广泛。随着微电子技术和微机电技术的飞速发展，电容式传感器也逐步朝着微型化、智能化的方向前进。

本文首先介绍了MEMS传感器的背景以及当前研究现状以及应用，后介绍了一种纳牛级高精度电容式力传感器，利用电容式传感器的原理，通过