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光栅技术

从20世纪50年代至70年代，栅式测量系统从感应同步器发展到光

栅、磁栅、容栅和球栅，这5种测量系统都是将一个栅距周期内的绝对式

测量和周期外的增量式测量结合起来，测量单位不是像激光一样的光波波

长，而是通用的米制(或英制)标尺。它们有各自的优点，相互补充，在竞

争中都得到了发展。但光栅测量系统的综合技术性能优于其它4种，而且

其制造费用又比感应同步器、磁栅、球栅低，因此光栅发展最快，技术性

能最高，市场占有率最高，产业最大。在栅式测量系统中，光栅的占有率

已超过80%，光栅长度测量系统的分辨率已覆盖微米级、亚微米级和纳米级；

测量速度从60m/min至480m/min。测量长度从1m、3m至30m和100m。

光栅测量技术的发展

计量光栅技术的基础——莫尔条纹(Moirefringes)是由英国物理学家

LRayleigh首先提出的。到20世纪50年代才开始利用光栅的莫尔条纹进

行精密测量。1950年，德国Heidenhain首创DIADUR复制工艺，即在玻璃

基板上蒸发镀铬的光刻复制工艺，可制造出高精度、价格低廉的光栅刻度

尺，所以光栅计量仪器才被广大用户所接受