电子级N-甲基-2-吡咯烷酮-编制说明.pdf

一、工作简况

1.1任务来源

N-甲基-2-吡咯烷酮作为优良的溶剂，在平板显示、集成电路等产业具有广泛的应用，而对于产品

的等级划分，市场上没有统一的标准,导致各家电子级的产品品质参差不齐，2023年12月1日国家标准

化管理委员会下达了《电子级N-甲基-2-吡咯烷酮》国家标准计划，由TC203（全国半导体设备和材料

标准化技术委员会）归口管理，主管部门为国家标准化管理委员会，《电子级N-甲基-2-吡咯烷酮》正

式立项。2024年1月面向各有关单位公开征集标准编制组成员，目前处于起草阶段，起草单位为晶瑞

电子材料股份有限公司、上海集成电路材料研究院。

1.2工作过程的说明

2023年12月国家标准化管理委员会下达了“2023年第三批推荐性国家标准计划”（国标委发〔2023〕

58号），《电子级N-甲基-2-吡咯烷酮》正式立项。

2024年2月，晶瑞电子材料股份有限公司、上海集成电路材料研究院对国际、国内电子级N-甲

基-2-吡咯烷酮产品生产情况进行了深入调研和分析，将国外产品的技术标准和国内实际生产情况相结

合，于2024年4月份完成了标准的讨论稿。

2024年5月，晶瑞电子材料股份有限公司、上海集成电路材料研究院依据自身企业内部标准和质

量管理要求，以及自身对于标准中的各项技术指标验证情况，对标准讨论稿进一步修改，并提交至TC203

秘书处。

标准起草小组首先开始搜集相关的资料，国际半导体设备与材料组织（SEMI）制定的国际工业标

准中，现行的电子级N-甲基-2-吡咯烷酮标准是：SEMIC33-0213《SpecificationandGuidefor

n-METHYL2-PYRROLIDONE》，由于该标准定义了三个等级，纯度偏低，金属离子杂质只定义了ppb级

别，已经不能满足半导体工业的要求，起草小组未采用。起草小组对国际、国内电子级N-甲基-2-吡咯

烷酮产品生产情况进行了深入调研和分析，将国外产品的技术标准和国内实际生产情况相结合，于

2024年2月份提出了标准的草案，提交讨论。2024年6月，在标委会秘书处的组织下，电子级N-甲基

-2-吡咯烷酮国家标准起草小组以及电子化学品领域标准专家在苏州召开标准研讨及启动会。会上就技

术指标与国外先进标准和行业技术现状进行了对比，对标准草案进行了逐条研讨，并针对标准的英文名

称、技术参数规范性、技术指标分级和检验规则进行了详细的讨论，并提出了后续修改意见（意见如下

表）。编制组按照研讨会的要求，对标准草案进行进一步修改，形成征求意见稿，提交标委会。

2

序号送审稿条款号修改情况

1范围删除掩膜版清洗，修改为主要应用于集成电路、显示面板等制造工艺的清洗过

程。

2产品规格“面板级、半导体级”改为“E1、E2级”，使用对象分级修改为技术规格分级

35.15.1-5.7技术规格合并一个表格处理

45.6表3和表4并表处理

56.1增加具体列6.1.1、6.1.2……

66.1试剂：标明具体的纯度要求

7A.2.2删除“天平”

87.1删除“第5章”

96.6确定是否直接引用GB/T34672的规定，做具体的实验数据进行验证。

107.4删除“第5章”

117.4“允许复检”修改为“允许加倍取样复检”

127.3.2“四氟乙烯”修改为“聚四氟乙烯”

137.3.2“7级”修改为“千级”

146.7针对不同规格等级完善稀释方法

157.5删除检验人员签名

167.5“制造方名称、地址、电话、传真”简化为“制造方信息”；增加产品等级；

调整信息描述顺序。

178.4“干燥”修改为“阴凉”

二国家标准的制定原则