微机电系统（MEMS）半导体气敏元件稳定性快速评价方法.pdf

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团体标准

T/CAMSXXXXX—XXXX

微机电系统（MEMS）半导体气敏元件稳定

性快速评价方法

StabilityRapidEvaluationMethodOfMEMSSemiconductorGasSensors

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国机械工业标准化技术协会发布

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目次

前言II

1范围3

2规范性引用文件3

3术语和定义3

4试验要求3

试验原理3

试验类型3

试验项目的选取4

受试产品4

5试验条件4

基本条件4

5.1.1试验环境条件4

5.1.2试验用气体标准物质4

5.1.3试验设备4

6试验文件4

7试验方法5

试验准备5

电压过载试验5

7.2.1试验参数5

7.2.2试验步骤5

脉冲电压试验6

7.3.1试验参数6

7.3.2试验步骤6

8数据处理及结果分析6

数据处理6

结果分析6

8.2.1稳定性评价7

8.2.2稳定性快速评价7

参考文献1

I

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前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本文件由中国机械工业标准化技术协会提出。

本文件由中国机械工业标准化技术协会仪器仪表及自动化专业委员会归口。

本文件起草单位：机械工业仪器仪表综合技术经济研究所、苏州慧闻纳米科技有限公司、中国科学

院空天信息创新研究院、北京航空航天大学、吉林大学、北京信息科技大学、中国电子科技集团公司第

四十九研究所

本文件主要起草人：朱敏杰、张平平、何秀丽、刘帅、陈凡红、杜晓辉、孙旭辉、蒋永刚、卢革宇、

尤睿、赵海

II

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微机电系统（MEMS）半导体气敏元件稳定性快速评价方法

1范围

本标准规定了微机电系统（MEMS）半导体气敏元件稳定性快速评价方法的试验要求、试验条件、试

验步骤、试验结果分析等内容。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文