2-激光干涉仪计量测试评价规范实验报告.docx

国家计量技术规范规程制修订

《集成式多自由度激光干涉仪计量测试评价规范》实验报告

2024年08月

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实验报告

实验目的

验证编写的《集成式多自由度激光干涉仪计量测试评价规范》的适用性和可行性。

实验地点及环境条件

北京航天计量测试技术研究所计量实验室。实验过程中环境温度均在（20±2）℃，相对湿度≤70%RH。

实验设计

根据新编写的计量测试评价规范选择了两家具有行业代表性的单位生产的集成式多自由度激光干涉仪进行了实验。其基本信息如表所示：

表1实验用产品信息表

制造商

产品名称

型号

编号

北京交通大学

数控机床误差激光高精度高效测量仪

ICAP-6D-B

1#

雷尼绍

多自由度激光干涉仪

XM-60

2#

测量标准

名称：集成式多自由度激光干涉仪校准装置

直线度测量范围：±250μm，测量不确定度U=0.3μm，k=2

偏摆角测量范围：±300，测量不确定度U=0.05，k=2

俯仰角测量范围：±300，测量不确定度U=0.05，k=2

滚转角测量范围：±500，测量不确定度U=0.2，k=2

实验方法和结果

1.水平直线度

实验方法：将被测干涉仪的集成式多自由度测量头置于集成式多自由度激光干涉仪校准装置的高精度平台上，调整镜组位置使镜组水平直线度敏感方向与平台移动方向一致。被测干涉仪处于测量模式。分别进行分辨率、测量范围、示值误差、重复性、稳定性测量。

表21#设备水平直线度测量数据表

型号

ICAP-6D-B

编号

1#

制造厂商

北京交通大学

温度℃

20.5

相对湿度%

62

试验人员

试验地点

北京航天计量测试技术研究所计量实验室

试验用标准器

集成式多自由度激光干涉仪校准装置

测量项目

测量结果/μm

工作状态

分辨率

0.1

正常

测量范围

±100

正常

示值误差测量结果

序号

标准值/μm

被测干涉仪读数/μm

示值误差/μm

1

19.93

19.7

-0.23

2

40.08

40.0

-0.08

3

60.04

60.1

0.06

4

80.05

80.2

0.15

5

99.87

100.1

0.23

6

119.95

119.9

-0.05

7

140.03

140.0

-0.03

8

160.12

160.0

-0.12

9

179.93

179.9

-0.03

10

200.09

200.3

0.21

水平直线度示值误差/μm：-0.23、+0.23

重复性测量结果/μm：0.64

稳定性测量结果/μm：0.40

图11#设备水平直线度重复性测试图

图21#设备水平直线度稳定性测试图

表32#设备水平直线度测量数据表

型号

XM-60

编号

2#

制造厂商

雷尼绍

温度℃

20.5

相对湿度%

62

试验人员

试验地点

北京航天计量测试技术研究所计量实验室

试验用标准器

集成式多自由度激光干涉仪校准装置

测量项目

测量结果/μm

工作状态

分辨率

0.01

正常

测量范围

+250

正常

示值误差测量结果

序号

标准值/μm

被测干涉仪读数/μm

示值误差/μm

1

57.43

57.33

-0.10

2

113.03

112.63

-0.40

3

154.57

153.80

-0.77

4

204.07

203.23

-0.83

5

251.47

250.80

-0.67

6

307.40

305.57

-1.83

7

357.80

356.53

-1.27

8

402.97

402.63

-0.33

9

452.33

451.97

-0.36

10

504.07

502.10

-1.97

水平直线度示值误差/μm：-1.97

重复性测量结果/μm：1.00

稳定性测量结果/μm：0.12

图32#设备水平直线度重复性测试图

图42#设备水平直线度稳定性测试图

2.竖直直线度

实验方法：将被测干涉仪集成式多自由度测量头置于集成式多自由度激光干涉仪校准装置的高精度平台上，调整镜组位置使镜组竖直向直线度敏感方向与平台移动方向一致。被测干涉仪处于测量模式。分别进行分辨率、测量范围、示值误差、重复性稳定性测量。

表41#设备竖直直线度测量数据

型号

ICAP-6D-B

编号

1#

制造厂商

北京交通大学

温度℃

20.5

相对湿度%

62

试验人员

试验地点

北京航天计量测试技术研究所计量实验室

试验用标准器

集成式多自由度激光干涉仪校准装置

测量项目

测量结果/μm

工作状态

分辨率

0.1

正常

测量范围

±100

正常

示值误差测量结果

序号

标准值/μm

被测干涉仪读数/μm

示值误差/μm

1

20.09