《高纯石墨靶材》编制说明.pdf

《高纯石墨靶材》行业标准

编制说明

一、工作简况

（一）任务来源

本标准依据工信厅科函〔2023〕291号文《工业和信息

化部办公厅关于印发2023年第三批行业标准制修订和外文

版项目计划的通知》，制定《高纯石墨靶材》行业标准，计

划号为2023-1085T-JC。本标准由全国非金属矿产品及制品

标准化技术委员会（SAC/TC406）归口。

（二）主要工作过程

本标准于2023年10月接到立项通知。接到制定任务后，

成立标准起草工作小组。在标准的前期调研阶段，起草小组

广泛、深入地查阅了高纯石墨靶材相关的国家标准、行业标

准、以及国内外主要生产企业和使用单位的技术标准特点进

行分析研究，并对高纯石墨靶材的发展、使用现状和特点进

行了调研，采集有代表性的高纯石墨靶材，对其进行了试验验

证及测试分析，形成了标准工作组讨论稿。

2024年3月16日在山东省淄博市召开了《高纯石墨靶

材》行业标准研讨会，本次会议中对本标准工作组讨论稿中

涉及的范围、规范性引用文件、术语和定义、分类与标记、

技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存

等内容进行了仔细认真的讨论，参会的专家和代表提出了意

见和建议。标准起草小组之后对提出的意见进行整理，对标

准工作组讨论稿进行修改和完善，并补充了部分验证试验，

形成了标准征求意见稿。

二、标准编制原则和主要内容

（一）标准编制写原则

本标准根据我国高纯石墨靶材的实际需要及生产状况而

制定。结合高纯石墨靶材的生产、销售、市场、质量监督的实

际情况，我们对所收集到的资料通过对比、分析，标准起草小

组努力做到使本标准既保持先进性，又能适合我国的国情，通

过对国内主要生产企业和使用单位对高纯石墨靶材的要求进

行分析，制定了本标准的分类与标记、技术要求、试验方法、

检验规则、标志、包装、运输与贮存等内容。

本标准为首次制定。标准编制遵循“统一性、协调性、适

用性、一致性、规范性”原则，参数指标与国际一流水平接轨，

重点突出在指标与对应产品其他相关标准的区别，及高纯石墨

靶材应重点满足的工况条件要求上，并注重标准的可操作性。

本标准严格按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：

标准化文件的结构和起草规则》、GB/T20001.10—2014《标

准编写规则第10部分：产品标准》的规定进行表述和编制。

（二）标准主要内容确定依据

本文件规定了高纯石墨靶材分类与标记、技术要求、试验

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方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。

a)适用范围：本文件适用于高纯石墨靶材。

b)分类与标记：（1）分类：高纯石墨靶材按结构分为

单体高纯石墨靶材和复合体高纯石墨靶材两类，类别代号依次

为DT，FH，每类按照固定碳含量分为≥99.99%、≥99.999%和

≥99.9999%三个规格，规格代号依次为4NC、5NC和6NC。

（2）标记：由产品名称、本文件代号、类别代号、规格代号

组成。

c)技术要求：包括外观质量、体积密度、尺寸偏差、表

面粗糙度、平面度、靶材—背板结合质量、Al、B、Cr、Cu、

Mg、Na、K、P、Ca、Fe、Ni等11种元素含量、杂质总和、固

定碳含量。

d)试验方法：对各项技术要求试验方法进行规范。

e)检验规则：对产品出厂检验和型式检验、组批原则、

取样及判定规则进行规定。

f)对产品的标志、包装、运输与贮存条件进行规范。

三、主要试验情况分析

（一）验证情况

高纯石墨靶材生产企业没有统一的规范标准用于指导生

产和产品技术定型，导致生产状况混乱，产品质量参差不齐。

因此本标准的制定非常及时，本标准制定后可以规范产品的生

产，进一步保证产品的质量，促进高纯石墨靶材的健康发展。

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为了验证试样在本标准中的方法是否可行，分别采用了不同公

司高纯石墨靶材样品进行验证，每个样品按标准要求进行平行

测定。

高纯石墨靶材性能指标测定的样品数量为每个种类