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第5章电容式传感器

第5章电容式传感器

主要内容：

5.1电容传感器工作原理和类型

5.2电容传感器输出特性

5.3电容传感器测量电路

5.4电容式传感器的应用举例

要求：了解电容式传感器的结构及工作原理、测量电路、应用方

法。

概述：

电容式传感器的应用技术近几十年来有了较大的进展，由于电容

测微技术的不断完善，作为高精度非接触式测量手段，广泛应用于科

研和生产加工过程。一般产品有测微仪器。

过去，电容式传感器主要用于位移、振动、角度、加速度等机械

量精密测量。现在还逐渐扩大应用于压力、压差、液面、成份含量等

方面的测量。电容式传感器的特点是：

小功率、高阻抗。电容器密度很小，一般在几十~几百微法，具有

高输出阻抗。

静电引力小（极板间），工作所需作用力很小。

可动质量小，具有较高的固有频率，所以动态响应特性好。

本身发热影响小。

可进行非接触测量。

5.1工作原理和类型

电容式传感器是将被测非电量变化成电容量的变化，电容式传感

器的基本原理可以用

平板电容器说明：

根据这一性质，电容器C可以通过改变（极板面积）称变面积型

传感器（较大范围测线，角位移）；图5—1平板电容结构

改变（极板距离）称变极距型传感器（测小位移）；

改变（极板介质）称变介质型传感器（测液面高度，料位）。

5.2输出特性

变极距型（）

初始电容

图5—2变极距型电容传感器工作原理

由上式可知C—是反比非线性关系。所以这种传感器被限制在一

个较小的范围内变化才能近似线性。当减小时电容C增加,，。

电容相对变化

图5—3变极距型电容传感器输出特性

当时，用泰勒级数展开。

对上式作线性处理（忽略高次项）才能近似线性。

定义灵敏度：（单位位移引起的输出电容相对变化量）讨论：

要提高传感器灵敏度K应减小初始极距。但极间受电容击穿电压

限制，非线性随相对的位移的增加而增加，为保证线行度应限制相对

位移。

起始极距与K、相矛盾。适合测小位移。

为提高灵敏度和改善非线性，一般采用差动结构（一个动片，两

个定片）当一个电容量增加时（↗）另一个电容量减小（↘）。

差动式输出特性

差动式两电容的特征方程式为：

电容的总的变化量图5—4差动式变极距型电容传感器结构

；；

电容的相对变化量为：

忽略高次项

传感器（差动式）灵敏度：

相对非线性误差为：

结论：

差动式电容传感器比单个电容灵敏度提高一倍，非线性误差减小

（多乘因子）。

变面积型（S）

平板电容的初始电容：

当动极板移动ΔX后，两极板间的电容量变为：

图5—5平板电容工作原理

平板变面积式传感器灵敏度：

（常数）

结论：

变面积式电容传感器输出特性为线性，适合测量大位移。灵敏度K

为常数,。

变介电常数式（）

当某种介质在两固定极板之间运动时，电容量与介质参数之间的

关系为：

分几种情况（及）。

图5—6变介电常数式电容传感器原理

测介电常数：d为运动（被测）介质的厚度，当介质厚度d保持

不变，而改变时，电容增加ΔC产生的电容相对变化。ε0为真空介电

常数。

初始电容；

介质变化后；

o因此利用这种原理可作为介电常数的测试仪器。

测厚度d：如果保持不变，而d改变，可作为测厚仪器。

o若、一定，可作为测厚仪器。

测液位高度测量（根据液体容器的形状计算）：

图5—7测液位高度

5.3测量电路

电容传感器中电容值变化都很微小，不能直接显示记录，必须将

电容变化转换为电流、电压。

5.3.1电容传感器的等效电