《Nb含量对TiAlNbN硬质膜性能的影响研究》.docx

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2024-12-23 发布于北京
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《Nb含量对TiAlNbN硬质膜性能的影响研究》

一、引言

随着现代工业技术的不断发展，硬质膜因其优异的机械性能和化学稳定性，在各种工业领域中得到了广泛的应用。TiAlNbN硬质膜作为一种新型的硬质膜材料，因其高硬度、良好的耐磨性和抗腐蚀性而备受关注。其中，Nb元素的含量对TiAlNbN硬质膜的性能具有重要影响。本文旨在研究Nb含量对TiAlNbN硬质膜性能的影响，以期为相关研究和应用提供理论依据。

二、实验方法

1.材料制备

本文采用磁控溅射法制备TiAlNbN硬质膜。通过调整溅射过程中Nb靶的溅射功率，控制Nb元素的含量。制备出不同Nb含量的TiAlNbN硬质膜样品。

2.性能测试

利