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《资源节约与环保》2022年第3期
张江集成电路产业废酸产量预测和处置研究
李萍
（上海市浦东新区环境管理事务中心上海201210）
摘要：随着我国集成电路产业规模扩大，集成电的酸,据统计,2019年张江集成电路制造业废酸转移
路行业危险废物尤其废酸的处置量也不断增加。以量为1.33万吨，约占全市废酸转移量的38%叫集成
上海市危险废物管理信息系统数据为来源，重点.分电路行业废酸主要以废硫酸为主，具有腐蚀性、毒性
析2016-2020年张江集成电路制造业废酸产量较大和反应性等危险特性，危害性大并且产量大的废酸
的几家企业，通过广义线性模型（GLM）预测2021-如果不能安全有效利用处置，将会给生态环境带来
2024年张江集成电路制造业废酸的产量，得出2024较大的破坏。此外，为了提高光刻胶去除效果，酸洗
年张江集成电路制造业废酸产量将达到15万吨。针过程一般会配比加入双氧水，双氧水与硫酸反应会
对未来几年张江集成电路产业废酸产量激增的状生成过氧硫酸，具有极强的氧化性，同时产生大量
况，建议集成电路产业废酸采用资源化利用的处置热，对外运和处理设施带来危害叽随着集成电路产
方式，将行业产生的废酸作为下游处置单位的生产业规模的不断发展，废酸的产量将持续增长,既增加
原料，以解决上海市集成电路产业废酸处理能力不了企业环境风险，也给危险废物环境管理部门带来
足和综合利用难的问题。重大挑战。
关键词：集成电路产业；废酸产量；数据建；模研究浦东新区张江集成电路产业废酸的现状并
资源化利用对未来几年废酸产量进行预测，对进一步加强浦东
新区废酸全过程管理，预防环境安全风险具有重要
引言意义，也为新区集成电路产业布局和废酸利用处置
发展芯片产业是中国科技真正崛起的必经之提供参考依据。
路。“中国芯”是浦东重点布局的六大硬核产业之一，1集成电路产业废酸来源
《中共中央国务院关于支持浦东新区高水平改革开集成电路产业废酸主要来自芯片清洗工序，芯
放打造社会主义现代化建设引领区的意见》（引领区片的清洗是集成电路制造极为重要的环节之一，完
意见）也对浦东集成电路产业提出全力打造集成电全清洁的基片表面是实现高性能处理的第一步，洁
路世界级创新产业集群的目标。作为中国最完善、最净表面是指不存在粒子、金属、有机物及水分等污染
齐全的集设计、制造、装备材料、封装测试联动发展物和自然氧化膜,具有原子级的平整度，以氢为终端
的集成电路产业链，浦东新区张江集成电路产业汇的表面叫
聚了307家相关企业，云集了一批国际知名的集成张江集成电路制造企业在硅片清洗过程采用
电路企业,全球芯片设计10强中有6家在张江设立SPM清洗技术，清洗液由H2SO4.HA和H2O组成，整
了区域总部、研发中心叫伴随着集成电路产业规模个过程用到硫酸的量和工艺步骤密切相关，工艺技
的逐步扩大，集成电路行业危险废弃物处置需求也术越先进，清洗过程越复
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