胶态二氧化硅及其制造方法 .pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101641288A

(43)申请公布日2010.02.03

(21)申请号CN200880009708.6

(22)申请日2008.03.27

(71)申请人扶桑化学工业株式会社

地址日本大阪府

(72)发明人樋口一明

(74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司

代理人龙淳

(51)Int.CI

C01B33/141

B24B37/00

H01L21/304

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

胶态二氧化硅及其制造方法

(57)摘要

本发明提供一种金属杂质更少且致

密的二氧化硅颗粒。具体而言，本发明提

供一种胶态二氧化硅及其制造方法，该胶

态二氧化硅为以硅酸烷基酯作为原料制得

的胶态二氧化硅，其特征在于：在上述胶

态二氧化硅的干固物中添加作为内标的聚

二甲基硅烷1重量％，得到试样，对该试

样测定固体

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种胶态二氧化硅，其为以硅酸烷基酯作为原料制得的胶态二氧化硅，其特征在

于：

在所述胶态二氧化硅的干固物中添加作为内标的聚二甲基硅烷1重量％，得到试样，

对该试样测定固体sup29/supSi-CP/MAS-NMR谱时，由胶态二氧化硅峰面积/

聚二甲基硅烷峰面积的计算式求得的峰面积值为15以下。

2.如权利要求1所述的胶态二氧化硅，其特征在于：

硅酸烷基酯是原硅酸四甲酯。

3.如权利要求1所述的胶态二氧化硅，其特征在于：

在测定固体sup29/supSi-CP/MAS-NMR谱时，以来自胶态二氧化硅的峰的合计

强度(面积值)为100时的Si(OH)sub0/sub的峰强度比为40以上。

4.如权利要求1所述的胶态二氧化硅，其特征在于：

1)钠、2)选自钙和镁的碱土金属以及3)选自铁、钛、镍、铬、铜、锌、铅、银、锰

和钴的重金属类的含量分别为1重量ppm以下。

5.一种研磨剂，其特征在于：

含有权利要求1所述的胶态二氧化硅。

6.一种胶态二氧化硅的制造方法，其特征在于，包括：

1)调制含有碱催化剂和水的母液的工序；和

2)向所述母液中添加水解液的工序，所述水解液通过使硅酸烷基酯水解得到，

其中，向所述母液中添加所述水解液的添加速度为41g二氧化硅/小时/kg母液以下。

7.一种胶态二氧化硅的制造方法，其特征在于，包括：

1)调制含有碱催化剂、水和晶种颗粒的母液的工序；和

2)向所述母液中添加水解液的工序，所述水解液通过使硅酸烷基酯水解得到，

其中，向所述母液中添加所述水解液的添加速度为4.2×10sup-3/supg二氧化硅

/小时/msup2/sup晶种颗粒表面积以下。

8.如权利要求6或7所述的制造方法，其特征在于：

还包括通过在不存在催化剂的条件下使硅酸烷基酯水解，调制所述水解液的工序。

9.如权利要求6或7所述的制造方法，其特征在于：

硅酸烷基酯是原硅酸四甲酯。

说明书

技术领域

本发明涉及胶态二氧化硅及其制造方法。特别是涉及适合作为研磨剂的胶态二氧化

硅及其制造方法。

背景技术

胶态二氧化硅是使二氧化硅微粒分散于水等介质而得到的制品，除了作为物性改良

剂在纸、纤维、钢铁等领域中使用之外，还作为半导体晶片等电子材料的研磨剂使

用。

作为现有的胶态二氧化硅的制造方法，水玻璃法和烷氧化物法这两种方法是主流。

水玻璃法是对硅酸钠进行离子交换，调制活性硅酸，然后，在加热的条件下，将其

添加至已用NaOH调节pH后的含有晶种颗粒的水溶液中，使颗粒生长(专利文献

1)。根据该方法，能够得到具有较致密的结构的颗粒。

烷氧化物法是所谓的Stoeber法，在碱催化剂的存在下，在使硅酸