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MEMS的主要材料及其性能参数

二、主要内容

1.小MEMS的主要材料

（1）硅材料

（2）聚合物材料

（3）金属和复合材料

2.编号或项目符号

?聚合物材料：聚合物材料具有轻质、柔韧、易加工等优点，适用于柔性MEMS器件。

?金属和复合材料：金属和复合材料具有高强度、高导电性等特点，适用于执行器和连接部分。

3.详细解释

三、摘要或结论

四、问题与反思

①硅材料的制备工艺复杂，成本较高，如何降低成本？

②聚合物材料的耐热性能较差，如何提高其耐热性能？

③金属和复合材料在MEMS中的应用前景如何？

[1]，.微机电系统[M].北京：科学出版社，2010.

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