2024年CMP抛光材料行业现状分析：CMP抛光材料行业将向智能化方向发展.docx

PAGE

PAGE1

2024年CMP抛光材料行业现状分析：CMP抛光材料行业将向智能化方向发展

CMP抛光材料是半导体制造中至关重要的一类材料，广泛应用于集成电路制造过程中，用于平整芯片表面，去除不需要的材料并确保工艺精度，以下是2024年CMP抛光材料行业现状分析。

CMP抛光材料行业现状

《2024-2029年中国CMP抛光材料行业项目调研及市场前景猜测评估报告》指出，CMP抛光材料包括抛光液和抛光垫、浅沟槽隔离、多晶硅、二氧化硅介电层和修整盘等，其中抛光垫和抛光液是CMP工艺的关键因素。

CMP作为半导体材料的抛光步骤的关键原材料，多年来始终属于“卡脖子”状况，随着安集科技突破抛光液之后，国产化替代正式开头，但目前技术仍有待提升，且抛光垫技术壁垒更厚背景下市场集中度更高，国产化难度更高，政策推动整体集成电路进展背景下，国产化将连续推动。

从产业链来看，CMP材料产业链与万华化学聚氨酯板块相关度高，抛光液主要原料包括研磨颗粒、各种添加剂和水，其中研磨颗粒主要为硅溶胶和气相二氧化硅。化学机械抛光液原料中添加剂的种类依据产品应用需求有所不同，如金属抛光液中有金属络合剂、腐蚀抑制剂等，非金属抛光液中有各种调整去除速率和选择比的添加剂。

目前，国内CMP抛光材料产业起步慢，企业数量少，规模较小，仅有少数企业能实现量产，在市占率方面也与国外厂商有相当的差距。抛光垫领域，Dow(陶氏化学)、Cabot、ThomasWest等外资厂商公司拥有90%以上市场份额。国产化替代尚未突破这一领域，鼎龙股份存在少量产能，主要用于面板行业。

CMP抛光材料行业趋势

技术要求不断提升：随着半导体制造技术朝着更小的节点进展(如7nm、5nm及更小节点)，CMP材料的要求也随之提高。CMP抛光材料行业现状分析指出，现代芯片制造过程中，需要使用更精细、更加匀称的抛光材料，以确保良好的表面平整度和更高的产量。

绿色环保要求：随着环保法规的日益严格，CMP抛光材料的生产和使用需要更加关注环保和可持续性问题。削减挥发性有机物(VOCs)和其他有害化学品的排放。开发可以再利用或降解的抛光液，以削减对环境的长期影响。

自动化和智能化：随着制造过程的简单性增加，CMP设备和材料的自动化程度也在提高。智能化的CMP过程掌握可以提高产量、降低缺陷率并提高效率。通过传感器和数据采集技术，实时监控抛光过程中的各种参数(如压力、温度、化学成分等)，确保表面质量。

多功能材料的开发：用于抛光的化学物质和用于机械磨削的物理材料。随着技术需求的变化，越来越多的多功能CMP抛光材料应运而生，它们在单一材料中结合了化学作用与机械作用，能够更高效地去除材料，同时保持更好的表面质量。

定制化和客户化：不同的芯片制造商和设备厂商对CMP抛光材料的需求各不相同，因此定制化材料的需求越来越大。生产商正在依据客户的详细需求，如芯片种类、制造工艺以及生产规模，供应量身定制的CMP抛光材料解决方案。

总之，CMP抛光材料行业正面临着一系列挑战和机遇。随着半导体制造工艺的不断进步，对CMP材料的要求越来越高，同时也推动了相关技术的创新。将来，CMP抛光材料将朝着高效、环保、智能化和定制化的方向进展，且全球化市场竞争也将加剧。