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年产100单晶硅生产工艺设计
年产100t单晶硅工艺设计说明书
摘要
本文简要概述了单晶硅的性质,详细介绍了国内和国外单晶硅生产工艺的进展、国内外工艺的差距和工艺流程。在各种单晶硅生产产业链方法中,我选择了改良西门子法和直拉法生产单晶硅。根据改良西门子法和直拉法进行了一系列设备包流化床反应器、精馏分馏塔、还原反应塔、压缩机、冷凝器卧式螺旋离心机和旋转干燥器和用来拉单晶硅的直拉炉的物料和热量衡算,接着以计算结果为基础来进行设备选型。通过这种设计,对工艺的各种过程的了解得到了增强。
关键词:单晶硅,生产工艺,改良西门子法,直拉法
Abstract
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