真空技术试题A答案(2011).pdfVIP

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电子科技大学二零一零至二零一一学年第二学期期期末考试

真空技术课程考试题A卷（120分钟）考试形式：开卷考试日期2011年月日

课程成绩构成：平时20分，期中0分，实验10分，期末70分

一二三四五六七八九十合计

一.问答题（每题6分）

1.“对具有某一温度的气体，可以根据麦克斯韦速率分布律，计算出具有某一速度的气体

分子在总分子数中所占的比例”这一表述正确否？为什么？

答：不正确。因为气体分子与气体分子间的碰撞使气体分子的速度不为某一恒定值，即讨

论“具有某一速度的分子数”是没有物理意义的，只能讨论“处于某一速度区间”的分子

数。

1

2.试举2例单位时间碰壁数nv在真空技术中应用的例子。

4

答：1）扩散泵的最大比抽速

2）分子流孔眼的流导

3)材料分子在表面上的蒸发和凝聚；

4）消气剂的工作过程

……

3.溅射离子泵和低温冷凝泵都是吸附型真空泵，其吸附机理有何不同？

答：溅射离子泵的工作机理是化学吸附。（3分）

低温冷凝泵的是物理吸附。（3分）

4.简述真空泵何氏系数的物理意义。

答：何氏系数是打到真空泵泵口抽气截面上的气体分子中，被真空泵抽走的分子的比例。

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5.与普通的热阴极电离规相比较，B-A规的结构主要做了什么改进，使B-A规能测量到超高

真空？

答：B-A规大大减小了离子收集极的表面积，使离子收集极所接收的光电子电流减小了几个

数量级。

6.与磁质谱计相比较，四极场质谱计有什么特点？

1）四极质谱规工作时不需要磁铁，因而体积小、重量轻，可以经受更高的烘烤温度。（4分）

2）四极质谱计的分辨率可以很方便的调整，而磁质谱计的分辨率不可调。（2分）

7.氦质谱检漏仪要为什么采用氦气为示漏气体？

答：采用氦作为示漏气体的原因是：

氦在大气中的含量极少，只占1/20，而且在一般材料的放气成分中，氦的成分几乎

为零，这样可以避免对示漏信号的干扰，有利于最小漏孔的检出；（2分）

氦分子小，质量轻，扩散系数大，易于穿过漏孔；(1分)

在质谱图上，与质量数4相邻近的质量数的峰很少，因此质谱计轨的分辨率可以设计

得低些，以求获得较高的灵敏度；（1分）

氦是惰性气体，不会引起化学反应，不污染真空系统，检漏作业安全；（1分）

氦离子质荷比小，故偏转半径小，分析器的尺寸可小些，或可用较弱的磁场。（1分）

8.真空系统被抽容器的极限压强与什么因素有关？

答：1)与真空系统在被抽容器处的有效抽速有关

2)与被抽容器的放气和漏气量有关。

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