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《磁控溅射法制备CIGS太阳能电池复合薄膜的研究》

一、引言

随着全球能源需求的不断增长和环境保护意识的日益增强，太阳能电池作为一种清洁、可再生的能源转换技术，受到了广泛的关注。CIGS（铜、铟、镓、硒）太阳能电池因其高转换效率、低成本和良好的稳定性，成为当前研究的热点。而磁控溅射法作为一种制备CIGS太阳能电池复合薄膜的有效方法，其研究具有重要的理论意义和实际应用价值。本文将重点探讨磁控溅射法制备CIGS太阳能电池复合薄膜的研究进展。

二、磁控溅射法的基本原理与特点

磁控溅射法是一种物理气相沉积技术，其基本原理是在真空环境下，利用磁场控制带电粒子的运动轨迹，使靶材表面的原子或分子被溅射出来并