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太上有立德，其次有立功，其次有立言，虽久不废，此谓不朽。——《左传》
TEM实验报告
学院：材料科学与工程学院
班级：材型1202
学生：刘玉蒙
学号：************
时间：2015年7月
太上有立德，其次有立功，其次有立言，虽久不废，此谓不朽。——《左传》
实验报告
一、实验目的与任务
1.初步了解透射电镜操作过程。
2.初步掌握样品的制样方法。
3.学会分析典型组织图像。
二、透射电镜的结构与原理
透射电镜以波长极短的电子束作为光源，电子束经由聚光镜系统
的电磁透镜将其聚焦成一束近似平行的光线穿透样品，再经成像系统
的电磁透镜成像和放大，然后电子束投射到主镜简最下方的荧光屏上
而形成所观察的图像。在材料科学研究领域，透射电镜主要可用于材
料微区的组织形貌观察、晶体缺陷分析和晶体结构测定。
透射电子显微镜按加速电压分类，通常可分为常规电镜(100kV)、
高压电镜(300kV)和超高压电镜(500kV以上)。提高加速电压，可缩
短入射电子的波长。一方面有利于提高电镜的分辨率；同时又可以提
高对试样的穿透能力，这不仅可以放宽对试样减薄的要求，而且厚试
样与近二维状态的薄试样相比，更接近三维的实际情况。就当前各研
究领域使用的透射电镜来看，其主要三个性能指标大致如下：
加速电压：80～3000kV
分辨率：点分辨率为0.2～0.35nm、线分辨率为0.1～0.2nm
最高放大倍数：30～100万倍
太上有立德，其次有立功，其次有立言，虽久不废，此谓不朽。——《左传》
尽管近年来商品电镜的型号繁多，高性能多用途的透射电镜不断
出现，但总体说来，透射电镜一般由电子光学系统、真空系统、电源
及控制系统三大部分组成。此外，还包括一些附加的仪器和部件、软
件等。有关的透射电镜的工作原理可参照教材，并结合本实验室的透
射电镜，根据具体情况进行介绍和讲解。以下仅对透射电镜的基本结
构作简单介绍。
1．电子光学系统
电子光学系统通常又称为镜筒，是电镜的最基本组成部分，是用
于提供照明、成像、显像和记录的装置。整个镜筒自上而下顺序排列
着电子枪、双聚光镜、样品室、物镜、中间镜、投影镜、观察室、荧
光屏及照相室等。通常又把电子光学系统分为照明、成像和观察记录
部分。
2．真空系统
为保证电镜正常工作，要求电子光学系统应处于真空状态下。电镜
-5
的真空度一般应保持在10托，这需要机械泵和油扩散泵两级串联才
能得到保证。目前的透射电镜增加一个离子泵以提高真空度，真空度
-8
可高达133．322×10Pa或更高。如果电镜的真空度达不到要求会出
现以下问题：
(1)电子与空气分子碰撞改变运动轨迹，影响成像质量。
(2)栅极与阳极间空气分子电离，导致极间放电。
(3)阴
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