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MEMS的主要材料及其性能参数

一、主题/概述

二、主要内容（分项列出）

1.小MEMS的主要材料

金属

半导体

陶瓷

聚合物

复合材料

2.编号或项目符号：

1.金属

常用金属：金、银、铜、铝等

性能参数：导电性、延展性、耐腐蚀性、热膨胀系数等

2.半导体

常用半导体：硅、锗、砷化镓等

性能参数：导电性、击穿电压、热导率、掺杂浓度等

3.陶瓷

常用陶瓷：氧化铝、氮化硅、氮化硼等

性能参数：硬度、热稳定性、耐腐蚀性、热膨胀系数等

4.聚合物

常用聚合物：聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯等

性能参数：机械强度、热稳定性、耐腐蚀性、柔韧性等

5.复合材料

常用复合材料：碳纤维增强聚合物、玻璃纤维增强聚合物等

性能参数：强度、刚度、耐腐蚀性、热膨胀系数等

3.详细解释：

1.金属

金属在MEMS中的应用：作为电极、连接线、支架等

金属的性能参数对MEMS的影响：导电性影响信号传输，延展性影响加工工艺，耐腐蚀性影响器件寿命

2.半导体

半导体在MEMS中的应用：作为传感器、执行器、微流体器件等

半导体的性能参数对MEMS的影响：导电性影响器件性能，击穿电压影响器件可靠性，热导率影响器件散热

3.陶瓷

陶瓷在MEMS中的应用：作为支架、隔离层、传感器等

陶瓷的性能参数对MEMS的影响：硬度影响器件结构强度，热稳定性影响器件工作温度，耐腐蚀性影响器件寿命

4.聚合物

聚合物在MEMS中的应用：作为封装材料、传感器、微流体器件等

聚合物的性能参数对MEMS的影响：机械强度影响器件结构强度，热稳定性影响器件工作温度，耐腐蚀性影响器件寿命

5.复合材料

复合材料在MEMS中的应用：作为支架、隔离层、传感器等

复合材料的性能参数对MEMS的影响：强度和刚度影响器件结构强度，耐腐蚀性影响器件寿命，热膨胀系数影响器件尺寸稳定性

三、摘要或结论

四、问题与反思

①MEMS材料的选择对器件性能有何影响？

②如何优化MEMS材料的性能以满足特定应用需求？

③不同材料在MEMS中的应用有哪些优缺点？

[1]，.微机电系统[M].北京：清华大学出版社，2010.

[2]，赵六.MEMS材料与工艺[M].上海：上海交通大学出版社，2015.

[3]网络资源：/