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士不可以不弘毅，任重而道远。仁以为己任，不亦重乎?死而后已，不亦远乎?——《论语》
毕业设计（论文）-多晶硅工艺生产技术
多晶硅工艺生产技术
姓名:
日期:2012年12月11日
多晶硅工艺生产技术
目录
目
录
I
摘
要
II
士不可以不弘毅，任重而道远。仁以为己任，不亦重乎?死而后已，不亦远乎?——《论语》
第一章多晶硅的认识和产品的用
途
1
一、什么是多晶
硅
1
二、什么是半导
体
1
三、纯度表示
法
1
四、多晶硅产品的用
途
2第二章多晶硅的生产方
法
2
一、锌还原法(杜邦
法)
2
二、四氯化硅氢还原法(贝尔
法)
3
士不可以不弘毅，任重而道远。仁以为己任，不亦重乎?死而后已，不亦远乎?——《论语》
三、三氯氢硅热分解法(倍西内
法)
3
四、三氯氢硅氢还原法(西门子
法)
3
五、硅烷热分解
法
3
六、改良西门子
法
3
第三章改良西门子法工
艺
4
一、发展历
程
4
二、改良西门子法归纳起来有三大特
点
4
三、工艺生产化学反应方程
式
4第四章多晶硅生产的工艺过
士不可以不弘毅，任重而道远。仁以为己任，不亦重乎?死而后已，不亦远乎?——《论语》
程
5
一、合成部
分
5
1、液氯汽
化
5
2、HCL合
成
6
3、三氯氢硅合
成
8
二、提纯部
分
11
三、氢化还原部
分
15
1、还原工
序
15
士不可以不弘毅，任重而道远。仁以为己任，不亦重乎?死而后已，不亦远乎?——《论语》
2、四氯化硅氢
化
18
四、回收部
分
21
五、公用辅助部
分
27第五章多晶硅工
艺的主要控
制
27
一、还原炉的自动和联锁控
制
27
二、尾气回收吸附塔的顺序控
制
32第六章结束
语
48
I
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