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《基于柔顺足驱动的步进型压电执行器研究》

一、引言

在自动化及精密操控技术迅速发展的背景下，步进型压电执行器因具有高精度、快速响应等特点而受到广泛关注。特别是在需要精细操作的领域，如微电子制造、精密机械装配等，压电执行器的性能直接影响着整体工作的效率与质量。柔顺足驱动的步进型压电执行器是近年来研究的热点，其结合了柔顺性设计与步进驱动机制，实现了高精度与高效能的平衡。本文将就基于柔顺足驱动的步进型压电执行器的研究进行详细探讨。

二、研究背景与意义

压电执行器利用压电材料的逆压电效应实现电能与机械能的转换，广泛应用于微位移、微力等领域。柔顺足驱动设计通过模仿生物体的柔性运动模式，增强了执行器对外部