半导体外延用等静压石墨.docxVIP

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CCSH82

团体标准

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半导体外延用等静压石墨

Isostaticgraphiteforsemiconductorepitaxy

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX实施

发布中国有色金属工业协会

发布

中国有色金属学会???

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前??言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本文件由福建省品牌建设联合会提出并归口管理。

本文件由福建省标准化研究院牵头组织制定。

本文件主要起草单位：四川福碳新材料科技有限公司。

本文件参与起草单位：冶金工业信息标准研究院、深圳市纳设智能装备股份有限公司、湖南联合半导体科技有限公司、湖南三安半导体有限公司、湖南德智新材料有限公司。

本文件主要起草人：吕尊华、陈炳安、王良均、余盛杰、姚亮、赖金亮、曾俊梅、吴承晚、……

本文件评审专家组长：

本文件由福建省标准化研究院负责解释。

半导体外延用等静压石墨

1范围

本文件规定了半导体外延用等静压石墨的牌号表示、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、储存运输和质量证明书。

本文件适用于以煅烧石油焦、煅烧沥青焦等为主要原料,经制粉、混捏、等静压成型、焙烧、浸渍、石墨化等工艺过程制成的石墨制品。

本文件适用于超高纯5N（99.999wt%），细颗粒（5-7μm），均匀性极高的半导体外延用等静压石墨。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T1427炭素材料取样方法

GB/T1429炭素材料灰分含量的测定方法

GB/T1431炭素材料耐压强度测定方法

GB/T19077粒度分析激光衍射法

GB/T24525炭素材料电阻率测定方法

GB/T24528炭素材料体积密度测定方法

GB/T3074.1石墨电极抗折强度测定方法

GB/T3074.4石墨电极热膨胀系数(CTE)测定方法

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8718炭素材料术语

GB/T8719炭素材料及其制品的包装、标志、储存运输和质量证明书的一般规定

GB/T8722炭素材料导热系数测定方法

JC/T2571-2020高纯石墨中微量元素测定方法

3术语及定义

本文件的相关术语及定义部分引用自国家标准文件“GB/T8718炭素材料术语”，下列术语及定义适用于本文件：

各向同性石墨isotropicgraphite

又称“等静压石墨”，一般用等静压方法成型,石墨微晶无序地取向排列,具有各向同性结构的石墨材料。通常指异向度小于1.10的石墨材料。

高纯石墨highpuregraphite

采用纯化石墨化工艺制成的，碳含量高于99.99%的人造石墨。按颗粒结构,可分为粗颗粒石墨细颗粒石墨等。

体积密度bulkdensity

炭素材料单位体积(包含孔隙和颗粒间空隙在内)的质量。

灰分ashcontent

炭素材料在规定条件下灼烧后残留物占试样的质量百分数。

耐压强度crushingstrength

又称“抗压强度”。炭素材料在单位面积上所能承受的极限负荷。

抗折强度bendingstrength

又称“抗弯强度”或“断裂模量”。炭素材料单位面积承受弯矩时的极限折断应力

导热系数coefficientofthermalconduction

表征炭素材料传导热量能力的物理量。

热膨胀系数coefficientthermalexpansion

炭素材料受热膨胀程度的度量。即当温度升高1℃时,单位长度的固体材料所引起的沿某一特定方向上的膨胀量，称为该材料沿那个方向上的膨胀系数。

电阻率specificelectricalresistance

表示材料通过电流时阻力大小的一种性质。数值上等于长为1m，截面积为1m2的导体所具有的电阻。

凹陷concavity

制品表面局部低于轮廓平面(或曲面)的部分。

孔洞cave

制品及坯料中空隙的一种,其各方向的特征线度均大于某一规定数值且各线度之间相差并不悬殊。

4牌号表示

等静压石墨的牌号用其前三个汉语拼音首