JJF(鄂) 113-2024 数字集成电路标准样片校准规范.docx

湖北省地方计量技术规范JJF（鄂）113—2024

数字集成电路标准样片校准规范

CalibrationSpecificationforDigitalIntegratedCircuitReferenceMaterials

2024-05-14发布2024-09-01实施

湖北省市场监督管理局发布

JJF（鄂）113－2024

数字集成电路标准样片校准

规范

CalibrationSpecificationforDigitalIntegratedCircuitReferenceMaterials

JJF（鄂）113－2024

归口单位：湖北省市场监督管理局

主要起草单位：中国船舶集团有限公司第七〇九研究所武汉大学

JJF（鄂）113－2024

本规范主要起草人：

李轩冕（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

周厚平（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

张明虎（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

梁康（武汉大学）

胡勇（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

吴改（武汉大学）

丁超（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

曾文仕（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）

I

目录

1范围 （1）

2引用文件 （1）

3概述 （1）

4计量特性 （1）

5校准条件 （2）

5.1环境条件 （2）

5.2测量标准及其他设备 （3）

6校准项目和校准方法 （3）

6.1校准项目 （3）

6.2校准方法 （4）

7校准结果表达 （9）

8复校时间间隔 （10）

附录A测量不确定度评定示例 （11）

附录B校准原始记录参考格式 （16）

附录C校准证书内页参考格式 （18）

II

引言

本规范的编制依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编制。

本规范为首次发布。

JJF（鄂）113－2024

1

数字集成电路标准样片校准规范

1范围

本规范适用于对数字集成电路标准样片的校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件：

GB/T17574半导体器件集成电路第2部分：数字集成电路

JJF（鄂）102-2023数字集成电路测试系统（标准样片法）校准规范

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本规范。

3概述

数字集成电路标准样片（以下简称标准样片）是已确定一种或多种参数的专用集成电路，以标准样片为计量标准器，通过复现数字集成电路参数的量值对测试系统进行校准，其校准结果反映了被校准测试系统在实测工况下的综合测量状态。标准样片的特性参数通过校准后主要用于数字集成电路测试系统的校准、实验室比对和能力验证等。

输入管脚电源输出管脚……控制管脚地标准样片的管脚定义如图1所示，一般采用标准的双列直插式封装，管脚包括电源、地、控制、输入、输出等管脚，其工作时数字集成电路测试系统对其电源、地、控制管脚根据具体参数施加相应的信号，使标准样片进入该参数的工作状态后，控制测试系统对标准样片输入、输出管脚施加/测量对应参数即可得到该参数的测量值。

输入管脚

电源

输出管脚

……

控制管脚

地

标准样片

图1标准样片管脚定义图

4计量特性

标准样片的校准点为离散值，典型标准样片的计量特性见表1。

JJF（鄂）113－2024

2

表1标准样片计量特性

参数名

标称值

最大允许误差

测量条件

VIL

100mV

±6mV

VOL=VOH=1.5V

1.0V

±6mV

5.0V

±6mV

VIH

100mV

±6mV

1.0V

±6mV

5.0V

±6mV

VOL

0.1V

±0.5mV

IOL=100uA

1.0V

±0.5mV

VOH

2.0V

±2mV

IOH=-300uA

4.9V

±2mV

IOH=-100uA

IOL

10μA

±50nA

VOL=1V

100μA

±0.5μA

1mA

±5μA

10mA

±50μA

100mA

±0.5mA

IOH

-10μA

±50nA

VOH=4V

-100μA

±0.5μA

-1mA

±5μA

-10mA

±50μA

-100mA