《探针方法测电阻率》课件.pptVIP

*******************探针方法测电阻率探针法测量电阻率是一种常用的方法，广泛应用于土壤、岩石和混凝土等材料的电阻率测试。该方法使用两个或多个探针，通过测量探针之间的电压和电流，计算材料的电阻率。探针法概述11.定义探针法是一种通过测量样品表面电阻率的非破坏性测试方法.22.方法在样品表面放置四个探针，通过测量电流和电压，计算出样品的电阻率。33.应用广泛应用于半导体、金属、陶瓷等材料的电阻率测量。测量电阻率的重要性材料特性电阻率是材料的基本属性之一，反映了材料对电流的阻碍程度。器件性能电阻率影响电子器件的性能，例如电阻值、电流容量、功率损耗等。科学研究电阻率是材料科学研究的重要指标，可以用于分析材料的结构和性质。质量控制电阻率测量是材料质量控制的关键环节，确保产品质量和可靠性。4探针法的基本原理1电压测量两个探针测量电压降2电流注入另外两个探针注入电流3电阻率计算根据电压和电流计算材料的电阻率探针法测量电阻率时，通过在材料上放置四根探针，其中两根探针用于注入电流，另外两根探针测量电压降。通过测量电压降和注入电流，结合材料的几何尺寸，就可以计算出材料的电阻率。4探针法的测量步骤1步骤一将探针固定在样品表面上，并确保探针与样品表面良好接触。2步骤二通过探针施加电流，并测量样品两端产生的电压。3步骤三根据测量得到的电流和电压值，以及探针的间距和几何因子，计算出样品的电阻率。4步骤四重复上述步骤，测量不同位置的电阻率，得到样品的平均电阻率。4探针法的优势非接触测量探针仅与样品表面接触，避免了传统接触式电阻测量方法带来的接触电阻影响，提高了测量精度。测量范围广4探针法适用于各种材料，包括金属、半导体、陶瓷等，能够测量不同类型样品的电阻率。操作简便4探针法操作简便，易于掌握，不需要复杂的仪器设备，便于推广应用。测量速度快4探针法测量速度快，能够快速获得电阻率结果，提高了测量效率。4探针法的适用范围半导体材料硅、锗、砷化镓等材料的电阻率测量。金属材料铜、铝、金等金属的电阻率测量。薄膜材料薄膜材料的电阻率测量，例如，薄膜太阳能电池。其他材料陶瓷、玻璃、复合材料等其他材料的电阻率测量。探针位置对测量的影响探针间距一致确保四探针等距排列，保证测量结果的准确性。探针位置对称保持探针位置的对称性，避免测量误差。探针垂直接触探针应垂直接触被测材料表面，减少接触电阻的影响。探针间距的选择样品尺寸探针间距应小于样品尺寸，确保探针完全接触样品表面。测量深度探针间距决定了测量深度的范围，影响测量结果的准确性。电阻率变化如果样品电阻率在测量深度范围内变化较大，需要选择适当的探针间距以获得准确结果。测量精度探针间距越小，测量精度越高，但同时会增加接触电阻的影响。接触电阻的影响及处理接触电阻的影响接触电阻会降低测量精度，导致测量误差。处理方法清洁探针，保证良好接触，可减小接触电阻。测量电流的选择电流范围测量电流应选择合适的范围，避免电流过大导致测量误差增加，或者电流过小导致信号难以测量。电压降测量电流需考虑探针接触电阻和样品本身的电阻，确保探针电压降不超过测量仪器的测量范围。电流稳定性测量电流应尽量稳定，避免电流波动导致测量结果不准确，可以使用恒流源或电流稳定器保证电流稳定性。电压测量方法电压测量仪器使用高精度数字万用表或数据采集卡测量电压。选择合适的量程，避免过载或测量误差。测量点选择将电压探头连接到探针上，并确保探头与探针的接触良好，避免接触电阻的影响。测量方式选择直流电压测量模式，测量探针之间的电压降。电压降为流过样品的电流与样品电阻的乘积。表面粗糙度对测量的影响1接触面积表面越粗糙，实际接触面积越小，测量结果误差越大。2电流分布粗糙表面会改变电流分布，影响电阻率的测量精度。3接触电阻粗糙表面会增加接触电阻，导致测量误差。几何因子的计算几何因子是探针法测量电阻率的关键参数，它反映了探针排列方式和样品尺寸对测量结果的影响。几何因子是一个无量纲的常数，它可以通过理论计算或实验测量得到。理论计算方法通常基于电磁场理论，根据探针的排列方式和样品的形状来推导几何因子的公式。1理论计算理论计算方法可以适用于各种形状的样品，但计算过程可能比较复杂。2实验测量实验测量方法通常使用已知电阻率的标准样品来标定几何因子。3数值模拟数值模拟方法可以根据探针的排列方式和样品的形状来模拟电流和电位分布，从而计算出几何因子。圆片样品的几何因子圆片半径圆片厚度几何因子1.00mm0.