【英语版】国际标准 ISO 5302:2003 EN Vacuum technology — Turbomolecular pumps — Measurement of performance characteristics 真空技术 涡轮分子泵 性能特征测量.pdf

ISO5302:2003EN真空技术-涡轮分子泵-性能特性的测量

ISO5302:2003是一个关于真空技术的国际标准，具体涉及到涡轮分子泵的性能特性测量。

涡轮分子泵是一种高效率的真空泵，主要用于高真空、超高真空的领域。它通过高速旋转的叶片产生的强力的抽吸力，将气体分子从泵的入口处抽走，从而形成真空环境。

性能特性的测量是评估涡轮分子泵性能的重要手段，包括但不限于以下方面：

1.抽速：表示泵的抽取气体速度的能力，通常以每秒通过泵的气体质量（mg/s）或者体积（L/s）来衡量。

2.压力降：表示泵在运行过程中，入口和出口之间的压力差，是衡量泵的抽气效率的重要指标。

3.极限压力：表示泵能够持续工作而不会影响其性能的最小气体压力，是衡量泵的极限真空度的指标。

4.流量特性：表示泵在各种不同的负载条件下，抽速的变化情况，是衡量泵的稳定性、抗干扰能力的指标。

5.温度特性：表示泵在温度变化范围内，性能变化的情况，是衡量泵在高温环境下工作能力的指标。

6.噪声：表示泵在工作过程中产生的噪音水平，是衡量泵的噪音水平的指标。

通过这些性能特性的测量，可以更全面地了解涡轮分子泵的性能，从而选择适合的应用场合。