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南安市三晶阳光电力有限公司多晶工艺控制方法HNO3浓度太低硅片表面有暗纹硅片表面发亮HF浓度太高硅片腐蚀速度过快酸浓度太低硅片腐蚀速度过慢水纹印干燥效果不理想酸制绒出来后暴露在空气中的时间过长，有络合物残留硅片表面有黄斑HNO3浓度太高7.酸清洗的作用南安市三晶阳光电力有限公司7.1盐酸清洗的作用7.1.1中和残留在硅片表面的碱液7.1.2去除在硅片切割时表面引入的金属杂质注：盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与Fe3+、Pt2+、Au3+、Ag+、Cu+、Cd2+、Hg2+等金属离子形成可溶于水的络合物南安市三晶阳光电力有限公司7.2氢氟酸清洗的作用7.2.1去除在清洗过程中表面形成SiO2层7.2.2氢氟酸是良好的脱水剂，起到预脱水的作用南安市三晶阳光电力有限公司8.现有单晶制绒设备开关机注意事项

8.1开机流程先在制绒设备电柜中打开24V转换电源开关和控制电源，然后打开各需要打开的加热器及6个机械臂驱动电源，最后打开PLC控制开关。?8.2开机注意事项8.2.1检查制绒设备的所有急停按钮是否都在断开状态；8.2.2开机后观察PLC面板上是否有报警信息；8.2.3检查纯水的电阻率，大于17.5Mohm-cm。8.3关机流程南安市三晶阳光电力有限公司先将自动开关变为手动状态，然后在制绒设备电柜中关闭PLC控制开关，再关闭24V转换电源开关和控制电源，然后关闭各个加热器和机械臂驱动电源。8.4关机注意事项8.4.1由自动变为手动的时候，一定要注意机械臂运行情况，是否在操作，必须要自动运行状态改为待机后再由待机改为手动状态，并且机械臂上没有花篮才可以关机；8.4.2关机前要求所有的槽体都用水枪清洗一遍；8.4.3关机后也要注意将加药的天平、称片天平和显微镜的电源关闭。*讲解：林禹晶体硅太阳电池制绒工艺南安市三晶阳光电力有限公司南安市三晶阳光电力有限公司目录

1.基础知识

2.工艺分类

3.工艺流程

4.化学原理

5.影响因素

6.工艺控制

7.酸清洗的作用

8.开关机注意事项

9.单晶绒面不良的分析及措施南安市三晶阳光电力有限公司1.1什么是制绒制绒是将硅表面进行预清洗并用强碱或强酸腐蚀成类似金字塔状或蜂窝状结构的过程1.制绒基础知识南安市三晶阳光电力有限公司logo1.2制绒的作用1.2.1去除损伤层1.2.2形成减反射绒面（陷光结构）1.3制绒的目的1.2.1利用陷光原理，增加光的吸收，提高短路电流Isc1.2.2增加PN结的面积2.制绒工艺分类南安市三晶阳光电力有限公司2.1单晶碱制绒，利用单晶片各向异性的腐蚀特性由强碱对硅片表面进行一系列的腐蚀。我司现在也在使用碱制绒，当然也有某些公司用酸制绒做单晶。主要化学药品为：氢氧化钠或氢氧化钾、异丙醇或乙醇、硅酸钠或绒面添加剂2.2多晶酸制绒，利用强腐蚀性酸混合液的各向同性的腐蚀特性对硅片表面进行腐蚀。主要化学药品为：硝酸、氢氟酸3.制绒工艺流程南安市三晶阳光电力有限公司3.1单晶装片去损伤制绒漂洗溢流漂洗HCl清洗溢流漂洗HF清洗两次溢流漂洗烘干出片预脱水温水漂洗南安市三晶阳光电力有限公司多晶纯水清洗HF+HCl清洗NaOH清洗纯水清洗上片01下片纯水清洗03吹干制绒02南安市三晶阳光电力有限公司4.制绒的化学原理4.1单晶4.1.1化学原理利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐蚀特性，在硅片表面腐蚀形成金字塔结构密布的表面形貌，就称为表面织构化。金字塔的四面全是由〈111〉面包围形成。4.1.2陷光原理当光入射到一定角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。南安市三晶阳光电力有限公司总反应化学方程式：Si+2NaOH+H2O→Na2SiO3+2H2↑副反应化学方程式：Na2SiO3+H2O→H2SiO3+OH-Na2SiO3→(Na2O)x·(SiO2)y南安市三晶阳光电力有限公司4.2多晶硅被HNO3氧化，反应为：用HF去除SiO2层，反应为：总化学反应方程式为：5.影响制绒的因素南安市三晶阳光电力有限公司5.1单晶制绒影响因素分析硅的腐蚀速率与表面原子密度、晶格方向、掺杂浓度、