TCAMS-硅片切片机用高速高精主轴.pdf

ICS25.080.40

CCSJ52

团体标准

T/CAMSXXXX—XXXX

硅片切片机用高速高精主轴

High-speedandprecisionspindleforsiliconslicer

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国机械工业标准化技术协会  发布

T/CAMSXXXX—XXXX

目次

前言III

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4分类、外形、形式与标识符号1

分类1

基本外形结构1

安装形式及安装尺寸2

主轴端部安装尺寸2

主轴的型号2

5技术要求2

热处理2

外观及尺寸2

跑合试验3

温升3

噪声3

振动3

最高转速3

静刚度3

密封性能3

6检验方法3

检验条件3

外观和尺寸检查3

6.2.1外观检查3

6.2.2安装尺寸的检查3

6.2.3轴芯轴端的形式及外锥的检查3

跑合试验3

6.3.1试验目的3

6.3.2冷却方式3

6.3.3试验方法4

温升检验4

噪声检验4

振动检验4

最高转速检验4

静刚度检验4

密封性能检验4

7几何精度要求及检验5

I

T/CAMSXXXX—XXXX

8检验规则5

检验分类5

出厂检验5

型式检验5

判定规则6

9标识、包装与贮存6

标识6

包装6

贮存6

II

T/CAMSXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本文件由中国机械工业标准化技术协会提出。

本文件由中国机械工业标准化技术协会机床专业委员会归口。

本文件起草单位：无锡阳光精机股份有限公司、通用技术集团机床工程研究院有限公司、国家机床质

量监督检验中心，浙江晶盛机电股份有限公司。

本文件主要起草人：杨锦、吴宗彦、周志、张维、赵钦志、李书林。