力学量检测技术-压力.pptVIP

1灵敏度高，频率响应高；2测量范围宽，可测低至10Pa的微压到高至60MPa的高压；3精度高，工作可靠，其精度可达±0.2％～0.02％；4易于微小型化，目前国内生产出直径φ1.8～2mm的压阻式压力传感器。压阻式压力传感器的特点:压电式压力传感器某些电介质沿着某一个方向受力而发生机械变形(压缩或伸长)时，其内部将发生极化现象，而在其某些表面上会产生电荷。当外力去掉后，它又会重新回到不带电的状态，此现象称为“压电效应”。图1-11压电式压力传感器04030102体积小，结构简单，工作可靠；测量范围宽，可测100MPa以下的压力；测量精度较高；频率响应高，可达30KHz，是动态压力检测中常用的传感器，但由于压电元件存在电荷泄漏，故不适宜测量缓慢变化的压力和静态压力。压电式压力传感器特点:电容式压力传感器采用变电容测量原理，将由被测压力引起的弹性元件的位移变形转变为电容的变化，用测量电容的方法测出电容量，便可知道被测压力的大小。根据平行板电容器的电容量表达式电容式压力传感器式中ε为电容极板间介质的介电常数；A为两平行板相对面积；d为两平行板间距。(1-9)由式(3-9)可知，改变A、d、其中任意一个参数都可以使电容量发生变化。在实际测量中，大多采用保持其中两个参数不变，而仅改变A或d一个参数的方法，把参数的变化转换为电容量的变化。故有变极距式电容压力传感器和变面积式电容压力传感器。因此，电容量的变化与被测参数的大小成比例。010203差动变极距式电容压力传感器改变电容两平行板间距d的测量方式有较高的灵敏度，但当位移较大时非线性严重。采用差动电容法可以改善非线性、提高灵敏度、并可减小因ε受温度影响引起的不稳定性。图1-12电容式差压传感器对于差动平板电容器，其电容变化与板间距离变化的关系可表示为：(1-10)式中C0为初始电容值；d0为极板间初始距离；△d为距离变化量。此电容量的变化经过适当的变换器电路，可以转换成反映被测差压的标准电信号输出。这种传感器结构坚实，灵敏度高，过载能力大；精度高，其精确度可达±0.25％～±0.05％；可以测量压力和差压。变面积式电容压力传感器图3-13所示为一种变面积式电容压力传感器。被测压力作用在金属膜片上，通过中心柱和支撑簧片，使可动电极随簧片中心位移而动作。可动电极与固定电极均是金属同心多层圆筒，断面呈梳齿形，其电容量由两电极交错重叠部分的面积所决定。固定电极与外壳之间绝缘，可动电极则与外壳导通。压力引起的极间电容变化由中心柱引至适当的变换器电路，转换成反映被测压力的标准电信号输出。图1-13变面积式电容压力传感器谐振式压力传感器是靠被测压力所形成的应力改变弹性元件的谐振频率，通过测量频率信号的变化来检测压力。1这种传感器特别适合与计算机配合使用，组成高精度的测量、控制系统。2根据谐振原理可以制成振筒、振弦及振膜式等多种型式的压力传感器。3谐振式压力传感器力学量检测技术

----压力测量21在生产、科研等各个领域中，压力、力和转矩是经常需要测量的重要参数。这些参数都是力的现象，因此在测量方法和所用仪器设备上有很多相同的地方。本章介绍压力测量方法、测量中所用的仪器设备及所用典型传感器的基本原理及结构。压力的基本概念压力是工业生产过程中重要的工艺参数之一，正确地测量和控制压力是保证工业生产过程良好地运行，达到高产优质低耗及安全生产的重要环节。压力的定义压力是垂直而均匀地作用在单位面积上的力，即物理学中常称的压强。工程上，习惯把压强称为压力。由此定义，压力可表示为: (1-1)由于参照点不同，在工程上压力有几种表示方法：01绝对压力02大气压力03表压力04真空度(负压)05差压(压差)06压力的表示方法图1-1各种压力之间的关系这几种表示法的关系如图1-1所示。此外，工程上按压力随时间的变化关系还有静态压力(不随时间变化或变化缓慢的压力)和动态压力(随时间作快速变化的压力)之分。压力是力和面积的导出量。压力单位又称为帕斯卡或简称帕，符号为Pa。1Pa＝1N/m2。因帕单位太小，工程上常用kPa(103Pa)（千帕）和MPa(106Pa)（兆帕）表示。在国际单位制中，取力的单位为牛顿，面积单位为米2，则压力单位为牛顿/米2，用符号N/m2表示；我国已规定帕斯卡为压力的法定单位。压力的计量单位由于历史发展的原因、单位制的不同以及使用场合的差异，压力还有多种不同的单位。目前工程技术部门仍在使用的压力单位有工程大气压：物理大气压：巴：毫米水柱：毫米