集成电路版图设计与验证课件.pptx

集成电路版图设计与验证;学习目的;主要内容;3.1半导体基础知识;3.1半导体基础知识;3.1半导体基础知识;3.1半导体基础知识;3.1半导体基础知识;3.1半导体基础知识;3.1半导体基础知识;主要内容;3.2工艺流程;3.2工艺流程;1制造工艺简介;1制造工艺简介;1制造工艺简介;1制造工艺简介;1制造工艺简介;1制造工艺简介;2材料的作用;3工艺流程;3工艺流程;3工艺流程;4常用工艺之一：外延生长;5常用工艺之二：光刻;5常用工艺之二：光刻;尘埃粒子影响：洁净室;接触式和接近式曝光;掩膜;图形转移;图形转移;5常用工艺之二：光刻;6常用工艺之三：刻蚀;6常用工艺之三：刻蚀;6常用工艺之三：刻蚀;6常用工艺之三：刻蚀;6常用工艺之三：刻蚀;7常用工艺之四：掺杂;7常用工艺之四：掺杂;扩散和离子注入的对比;离子注入;注入损伤;晶格无序;退火;8常用工艺之五：薄膜制备;8常用工艺之五：薄膜制备;8常用工艺之五：薄膜制备;8常用工艺之五：薄膜制备;8常用工艺之五：薄膜制备;物理气相淀积;物理气相淀积;物理气相淀积;化学气相淀积;化学气相淀积;化学气相淀积;主要内容;3.3工艺集成;1制作流程;1制作流程;2无源器件;电阻;电阻;2无源器件;电容;2无源器件;电感;3双极集成电路制造流程;一致是强有力的，而纷争易于被征服。。五月-20五月-20Sunday,May03,2020

勤奋是登上知识高峰的一条捷径，不怕吃苦才能在知识的海洋里自由遨游。。01:06:2801:06:2801:065/3/20201:06:28AM

衷心感谢社会各界对电建事业的明白关心和支持。五月-2001:06:2801:06May-2003-May-20

可怕的不是失败，而是自甘堕落。。01:06:2801:06:2801:06Sunday,May03,2020

既然我已经踏上这条道路，那么，任何东西都不应妨碍我沿着这条路走下去。。五月-20五月-2001:06:2801:06:28May03,2020

没有播种，何来收获；没有辛苦，何来成功；没有磨难，何来荣耀；没有挫折，何来辉煌。。2020-05-031:06上午五月-20五月-20

书不记，熟读可记；义不精，细思可精；惟有志不立，直是无着力处。。03五月20201:06:28上午01:06:28五月-20

效率成就品牌，诚信铸就未来。。五月201:06上午五月-2001:06May03,2020

经理不是只告诉别人怎么干的家伙，而是要激发队伍产生一定报负，并朝目标勇往??前。。2020-05-0301:06:2801:06:2803May2020

想起父母，做子女的是多么为他们感到心痛啊！他们生我育我，花费了多少辛勤的劳动啊！。1:06:28上午1:06上午01:06:28五月-20

不论你在什么时候开始，重要的是开始之后就不要停止。。五月-20五月-2001:0601:06:2801:06:28May-20

惟一持久的竞争优势，也许就是比你的竞争对手学习得更快的能力。。2020-05-0301:06:28Sunday,May03,2020

笨鸟先飞早入林，笨人勤学早成材。—《省世格言》。五月-202020-05-0301:06:28五月-20