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《超精密定位音圈电机驱动控制系统研究》
一、引言
随着科技的不断进步，超精密定位技术在各个领域中的应用越来越广泛，如精密制造、生物医疗、精密测量等。音圈电机作为实现超精密定位的关键部件，其驱动控制系统的性能直接影响着整个系统的定位精度和稳定性。因此，对超精密定位音圈电机驱动控制系统的研究具有重要的理论和实践意义。
二、音圈电机概述
音圈电机是一种利用磁场与电流相互作用原理进行驱动的电机，具有高精度、高速度和高效率的特点。其工作原理是通过改变电流的大小和方向，使电机在磁场中产生力矩，从而实现精确的位置控制。音圈电机广泛应用于超精密定位系统，如硬盘驱动器、精密测量设备等。
三、超精密定位音圈电机驱
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