原创力文档- 1、本文档共57页，其中可免费阅读20页，需付费100金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
摘要
摘要
磁控溅射技术是一种成熟的薄膜制备技术，管状靶材具有高冷却效率、高
溅射功率、溅射面积广和均匀性极佳等优点，广泛应用于大尺寸薄膜制备，
NbO由于其工程特性，在光学、生物、电子等领域大放异彩，而开发研究大
25
规格铌管靶材工艺在靶材工业领域鲜有人涉足，采取合理高效的工艺是制备性
能优良的管靶的基础和关键。本文对铌铸锭进行穿孔热挤压工艺制备铌管，经
合理退火工艺获得组织均匀的成品铌管靶材，利用电子背散射衍
您可能关注的文档
- Ru催化剂促进生物质衍生的C6呋喃醛氢化开环生成线性多元醇的研究.pdf
- Sb2Se3基太阳能电池的模拟研究.pdf
- TaC，TiC及双掺对无粘结相硬质合金制备工艺及性能的影响.pdf
- UV_Fenton-MAP法预处理有机胺废水研究.pdf
- WC对Cu基复合材料组织和性能的影响.pdf
- 伴非自杀性自伤青少年抑郁患者的认知功能和情绪敏感性研究.pdf
- 变形条件下A319铝合金半固态浆料内孔洞类缺陷闭合行为的研究.pdf
- 不同抑郁水平个体执行功能及fNIRS脑血流动力学特征研究.pdf
- 城市内涝定制化动态模拟软件开发与应用--以南昌市朝阳片区为例.pdf
- 初中生非正式群体的管理策略研究--以赣州市A中学为例.pdf
文档评论（0）