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化合物半导体的外延生长设备项目安全评估报告.docx

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    化合物半导体的外延生长设备项目安全评估报告

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    化合物半导体的外延生长设备项目安全评估报告

    目录

    TOC\o1-9概论 3

    一、对策措施与建议 3

    (一)、事故隐患的整改措施 3

    (二)、建议的安全对策措施 4

    二、安全评价程序与评价方法 5

    (一)、安全评价程序 5

    (二)、划分评价单元 6

    (三)、确定采用的安全评价方法 7

    三、定性、定量安全评价 9

    (一)、安全管理单元 9

    (二)、厂址条件、平面布置及建、构筑物单元 11

    (三)、生产单元 12

    (四)、公用工程及辅助设施单元 15

    四、安全评价范围、目的及依据 19

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